傳統的超純水制備設備是電滲析、離子交換器（陽床、陰床、復床、混床）。新型超純水制備設備是EDI（連續電除鹽技術）設備。EDI是將電滲析技術和離子交換技術有機結合形成的一種新型除鹽技術。可以有效的去除水中幾乎全部的陰陽離子，出水電阻率可穩定在15MΩ.CM以上。
一、超純水制備技術的發展歷程
階段1：預處理 + 陽床 + 陰床 + 混床離子交換
階段2：預處理 + RO反滲透 + 混床離子交換
階段3：預處理 + RO反滲透 + 電滲析裝置
階段4：預處理 + RO反滲透 + EDI裝置
其中，RO反滲透技術是一種利用膜分離去除水中離子的方法，盡管反滲透系統將水中 95%-98% 的離子去除，但還不能滿足部分工業生產的要求，其后續工藝必須使用離子交換設備。
將反滲透膜和樹脂結合的 EDI 技術成為水處理技術的一場革命，解決了傳統的離子交換越來越無法滿足現代工業和環保的難題。EDI技術應用電再生離子交換除鹽工藝取代傳統混合離子交換除鹽工藝DI 。通過離子交換樹脂及選擇性離子膜達到高脫鹽效果，與反滲透結合的聯合工藝使產水水質可達 電阻率10~17M Ω CM 的高規格產水。
二、 EDI超純水設備的工作原理：
1.經RO反滲透設備產出的純水進入 EDI裝置，主要部分流入離子交換樹脂/膜內部，而另一部分沿模板外側流動，以洗去透出膜外的離子。
2.離子交換樹脂截留水中的溶存離子。
3.被截留的陰陽離子在電極作用下，陰離子向正極方向運動，陽離子向負極方向運動。
4.陽離子透過陽離子膜，排出離子交換樹脂/膜之外。
5.陰離子透過陰離子膜，排出離子交換樹脂/膜之外。
6.濃縮了的含離子水（濃水）經廢水流路中排出。
7.無離子水（超純水）從離子交換樹脂/膜內流出。
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