6JA 干涉顯微鏡的詳細介紹
6JA 干涉顯微鏡
干涉顯微鏡6JA是用來測量精密加工零件(平面、圓柱等外表面)光潔度的儀器,也可以用來測量零件表面刻線,鍍層等深度。儀器配以各種附件,還能測量粒狀,加工紋路混亂的表面,低反射率的工件表面,同時還能將儀器安置在工件上,對大型工件表面進行測量。儀器測量表面不平深度范圍為1-0.03微米,用測微目鏡和照相方法來評定▽10-▽14光潔度的表面。本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室,精密加工車間,也適用于高等院校,科學(xué)研究等單位。
技術(shù)參數(shù):
1、測量表面光潔度范圍:10-14
2、工作物鏡的數(shù)值孔徑:0.65
3、工作距離:0.5mm
4、儀器的視場:目視:φ0.25mm
照相:0.21* 0.15mm
5、測微目鏡放大倍數(shù):目視:500X
照相:168X
6、測微目鏡放大倍數(shù):12.5X
7、測微鼓分劃值:0.01mm
8、綠色干涉濾色片波長λ≈5300?
9、半寬度Δλ≈100?
10、工作臺升程:5mm
11、X、Y方向移動范圍≈10mm
12、旋轉(zhuǎn)運動范圍:360?
13、儀器標準鏡高反射率≈60%
14、低反射率≈4%
15、可調(diào)變壓器輸入電壓:220V
16、輸出電壓:4V-6V
17、儀器外形尺寸:270*160*230mm
18、儀器重量≈5公斤
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