【三豐輪廓儀】日本三豐輪廓儀三豐輪廓儀廠家蘇州瑞測

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【三豐輪廓儀】日本三豐輪廓儀三豐輪廓儀廠家蘇州瑞測技術參數 X1 軸測量范圍: 200mm 分辨率: 0.05μm 檢測方法: 反射型線性編碼器驅動速度: {zd0} 200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操縱桿) 測量速度: 0.02 - 2mm/s 移動方向: 向前／向后直線度: 2μm/200mm * 當X 軸在水平方向上指示精度: ±(1+4L/200)μm,(20° C 時) * L 為驅動長度(mm) a 軸傾斜角度: -45° 至 +10° 分辨率: 0.000225° 旋轉速度: 1rpm Z2 軸(立柱) 垂直行程: 300mm 或 500mm 分辨率: 0.05μm 檢測方法: 反射型線性編碼器驅動速度: {zd0}200mm/s (CNC) 0 - 50mm/s (操縱桿) Z1 軸 (檢測器) 測量范圍: ±25mm 分辨率: 0.2μm (CV-3000CNC), 0.05μm (CV-4000CNC) 檢測方法: 線性編碼器(CV-3000CNC), 激光全息測微計 (CV-40100CNC) 指示精度: ± (2+I4HI/100)μm (CV-3000CNC) (20° C 時) ± (0.8+I0.5HI/25)μm (CV-4000CNC) *H 為水平位置上的測量高度 (mm) 測針上／下運作: 弧形運動測針方向: 向上／向下測力: 30mN 跟蹤角度: 向上： 70°、向下：70° (根據表面粗糙度，使用標準單切面測針) 測針針尖半徑：25μm、硬質合金針尖

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