詳細參數
SSD光照射形除電裝置ISX-224產品特點:
1:對于一般大氣中晶圓(wafer)等帶電電位衰減至1/10,於1S以內的短時間內除電。
2: 與瓦斯的流動狀態無關,可獲得安定的除電性能。由于被光照射到的空間內廣范圍地將瓦子化,因此,即使除電對象物附近存在不穩定的氣流,也不影響除電性能。
3: 平常wq不須維護,僅需依軟X線管頭的耐用期限(8000h)更換即可。
4: 由于正負離子及電子平均分布于空間內,因此除電對象物的殘留電位可定為0V。
5: 由于光直接離子化,因此,在大氣壓下,在 N2、Ar等不活性瓦斯中也可除電。
6: 由于是光照射之離子系統,因此,wq不發塵,電磁雜訊(noise)也幾乎無發生。
7:依高能量光使得空氣中的氧氣分子也加速離子化,因此,幾乎沒有產生臭氧(ozone)。
8:構成本系統的機器,僅有軟X線管頭及電力裝置2項,在制造裝置.搬運上易安裝。
產品用途:
1:電子設備的制造、組裝工程。
2:照相機、鐘表、精密機械零件的制造、組裝工程。
3:食品、化妝品容器等的加工、填充工程。
4:紙張、薄膜(film)、薄板(sheet)類的卷、裁切工程。
5:成型機內的除電。
6:防止附著于Parts feeder等振動制品。
7:防止軟片.感光材料之static mark。