隨著現代技術（航天技術、原子能技術、電子技術等）的迅速發展，對一些產品部件的精度要求愈來愈高，因此要求建造潔凈廠房，以防止產品在生產過程中受到塵粒污染或xj污染。第二次世界大戰后，美國、歐洲國家和日本都先后建成潔凈廠房。中國在50年代曾建設一些無窗密閉廠房，60年代研制成{gx}過濾器、凈化工作臺和裝配式潔凈室等設備，以后在電子工業等部門建成一些潔凈廠房，如常州的半導體廠。 　　總體布置 　廠址宜選在空氣自凈條件好，大氣含塵量低的地區,要求遠離鐵路、機場、碼頭和交通要道,避開散發大量粉塵的工廠、堆場等污染源。總體布置應按不同的凈化要求分區。潔凈區應處于一般生產區和污染區的上風位，并須全面規劃，布置道路和綠化，以改善小區環境，有條件的宜設置水池、噴泉等。有潔凈要求的工廠通常由一般生產用房、潔凈廠房和輔助用房等組成。 　　潔凈廠房一般包括四部分：潔凈生產用房（通常兼有一般生產用房），空調冷凍機房，純水和氣體凈化站，人員、物料凈化用房。潔凈生產用房的空氣須經過多級凈化，使每立方米空氣含微塵量達到規定的等級。要求無菌生產用房的，要用紫外線mj。空調冷凍機房用于凈化空氣，在滿足防振、防噪聲要求的前提下，應靠近潔凈生產用房以至毗連。純水和氣體凈化站可同空調冷凍機房組合，或設置于輔助用房部分，但必須便于鋪設管線，與其服務的部位緊密聯系。人員必須經過凈化用房換鞋更衣，再經空氣淋浴等，方能進入潔凈生產用房。 　　潔凈等級 　根據室內每立方米（或每升）空氣中的含塵量確定。中國有關規范規定潔凈度為百、千、萬和十萬四級,即每立方米空氣中含有粒度大于或等于0.5微米的塵粒數量分別為35×100，35×1000，35×10000和35×100000粒。根據不同等級的要求選擇氣流組織形式。氣流組織形式有垂直平行流、水平平行流和紊流等。凈化要求對能源消耗、建設投資和建筑處理的復雜程度等方面都有很大差別。 廠房設計要點 　潔凈廠房的設計要綜合考慮空氣凈化系統的布局、氣流流型選擇以及管線系統安排等因素，進行建筑物的平面和剖面設計，在滿足工藝流程要求的基礎上，恰當地處理潔凈用房和非潔凈用房以及不同潔凈等級用房之間的相互關系，使潔凈度要求高的較之潔凈度要求低的用房處于正壓狀態，以增加氣密性。