把放大器(驅動電路) 內藏在檢出部里,廉價小型輕便。?比高價的靜電電位監視系統制造方便,而且價格便宜。?開關能改變測量范圍、可以測量從低到高較大范圍的電位。?裝有檢出傳感器故障表示LED、并能輸出到外部。
?把放大器(驅動電路) 內藏在檢出部里,廉價小型輕便。
?比高價的靜電電位監視系統制造方便,而且價格便宜。
?開關能改變測量范圍、可以測量從低到高較大范圍的電位。
?裝有檢出傳感器故障表示LED、并能輸出到外部。
KS-2100的規格
●規格
表示部
型式 KS-2100
檢出方式 振蕩型表面電位傳感器
測量范圍 有效距離① ±1~±2000V
有效距離② ±0.01~±20.00kV
模擬輸出 0~±5V
測量精度 ±10%以內
測量基準距離 有效距離① 10mm
有效距離② 50mm
警報 查出傳感器故障LED表示,外部輸出
電源 DC12~24V±5%
環境 溫度0~40℃、濕度65%RH以下(沒有結露)
質量 約100g(不含電纜)
付屬品 專用電纜5M({zd0}到100m為止)
用途
?在顯影平面的生產工序的帶電量監視。
?半導體芯片帶電量監視。
LSI的處理中及印刷電路板搬送中來監視帶電量。
尺寸?各部分的名稱
■尺寸單位[mm]