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日本進口鉬電子離子源柵網

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離子源柵網直接影響膜層均勻性和致密性的重要易耗性配件。

日本進口離子源柵網適用于考夫曼和射頻等多種機型的離子源，可直接替換同類品牌產品，性能優良，價格低廉。

離子柵網系統中的柵網一般為三柵式結構，分別包括屏柵、加速柵和減速柵，其中屏柵相距等離子體近，減速柵相距等離子體遠，加速柵位于屏柵與減速柵之間，屏柵的電勢高與等離子體內部的電勢相接近，加速柵的電勢為負值，減速柵的電勢為零。離子束流依次經過三片柵網終獲得一定空間濃度分布的離子束。三柵式結構的柵網對于裝調精度要求很高，各柵網之間的距離、各柵網上孔洞的相對偏轉角度等都會對離子柵網系統的工作穩定性和對離子束流的控制能力產生較大影響。

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