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薄膜應力測量儀

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薄膜應力測量儀薄膜應力測量儀圖片薄膜應力測量儀生產廠家

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薄膜應力測量儀--德國OEG的詳細描述：

德國OEG公司成立于1991，設計制造gd精密的光學和半導體領域儀器設備。

主要產品：MTF測試系統

光學測量工作站OTS 200

精密金剛石劃片機MR200

Flatscan晶圓平整度應力和表面曲率測量儀

電子準直鏡

晶圓線寬和特征尺寸測量儀

接觸角/表面張力/表面自由能測量儀

更多產品信息請來電咨詢。

光學非接觸表面測量儀，能進行大范圍的2D和3D測量，可測量晶圓應力（薄膜應力），表面半徑曲率和斜坡。

TTV，Bow, Warp.

FLATSCAN：主要用于各種像硅、鏡片、金屬和拋光聚合物等反射表面的非接觸測量，可測量平整度、表面曲率、平均半徑和應力。光學測量原理保證了高精度，是通過測量垂直入射激光束的反射角，表面狀態能通過測量點發射角的改變jq測量。

就半導體行業而言，是通過鍍膜前后的對半徑的計算測量應力。

大測量的范圍：測量直徑{zd0}200mm

高測量精度：0.1arcsec, 100nm

選件：2D3D測量

技術參數：

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