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高精度半自動光刻機北京特博萬德科技有限公司

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北京特博萬德科技（Top Vendor Science&Technology Co., Ltd.)有限公司，是一家專業生產和代理、經銷現代化電子材料、儀器、設備的公司，我們致力于把國內外先進的科學儀器和設備引入到國內的科學研究及工業應用領域。特博萬德同時代理國外諸多zm廠商的分析測試儀器與設備，為國內廣大用戶提供專業化的技術咨詢及售后服務。所代理的產品均代表了當今世界的{yl}水平。　　

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能力	數值
X, Y方向運動距離，精度	+/-6mm； 0.1微米
Z方向精度	+/-0.5微米
Theta; 精度	+/-3°；0.001°
光罩旋轉	+/-15°
控制方式	軟件控制，多種工藝參數可自行設定
卡盤移動控制	電子桿
光刻模式	靠近、軟接、硬接和真空接觸
預對準能力	X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°
精對準能力	小于1微米
光罩尺寸	{zd0} 14”×14”
適用的樣品尺寸	50 ～ 300mm
光源選擇	近紫外，中紫外和深紫外

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