上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾離子源 eH200

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伯東企業（上海）有限公司

伯東公司成立于1953 年，全球范圍內有一千七百名員工。伯東企業(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業據點。
上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供世界{yl}的真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念，已累計為超過10,000家企業提供真空服務，覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統及配套真空零配件等。
上海伯東作為國際知名真空品牌指定授權代理商，全權負責在中國地區的銷售和維修服務，100% 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有wq的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。

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KRI 霍爾 eH 200
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 霍爾 eH200 是霍爾型 eH 系列中尺寸最小, 低成本設計離子源. 霍爾 eH200 適用于小型真空腔內, 例如研發分析, 薄膜沉積和離子清洗. 霍爾 eH200 操作簡單是理想的生產工具.
KRI 霍爾 eH 200 技術參數：

型號	eH 200
供電	DC magnetic confinement
- 電壓	40-300V VDC
- 離子源直徑	~ 2 cm
- 陽極結構	模塊化
電源控制	eHx-3005A
配置	-
- 陰極中和器	Filament or Hollow Cathode
- 離子束發散角度	> 45° (hwhm)
- 陽極	標準或 Grooved
- 水冷	無
- 底座	移動或快接法蘭
- 高度	2.0'
- 直徑	2.5'
-加工材料	金屬電介質半導體
-工藝氣體	Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors
- 安裝距離	6-24”
- 自動控制	控制4種氣體

* 可選: 可調角度的支架; Filamentless; Sidewinder
KRI 霍爾 eH 200 應用領域：
濺鍍和蒸發鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD
表面改性, SM
直接沉積 DD

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958

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