伯東公司日本原裝進口小型離子蝕刻機

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伯東企業（上海）有限公司

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伯東企業（上海）有限公司

伯東公司成立于1953 年，全球范圍內有一千七百名員工。伯東企業(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業據點。
上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供世界{yl}的真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念，已累計為超過10,000家企業提供真空服務，覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統及配套真空零配件等。
上海伯東作為國際知名真空品牌指定授權代理商，全權負責在中國地區的銷售和維修服務，100% 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有wq的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。

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4 IBE
伯東公司日本原裝進口小型離子蝕刻機, 適用于科研院所, 實驗室研究, 干式制程的微細加工裝置, 特別適用于磁性材料, 金, 鉑及各種合金的銑削加工.
4 IBE 技術規格

型號	4 IBE
樣品數量尺寸	4”φ, 1片
離子束入射角度	0～± 90
考夫曼離子源	KDC 40
極限真空度 Pa	≦1x10-4
Pfeiffer 分子泵抽速 l/s	350
均勻性	≤±5%

伯東主要優點
1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.
2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.
3. 配置使用美國
4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.
5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環境下蝕刻.
6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.
7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產過程.
通不同氣體的蝕刻速率
NS 離子蝕刻機
Hakuto 日本原裝設計制造 IBE, 提供微米級刻蝕, 滿足所有材料的刻蝕, 即使對磁性材料,黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復合半導體材料, 這些難刻蝕的材料也能提供. 可用于反應離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 自 1970年至今, Hakuto 伯東已累計交付約 500套離子蝕刻機. 蝕刻機可配置德國和美國 !

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅先生                               臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958

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