電去離子(Electrodeionization 簡(jiǎn)稱(chēng)EDI)是將電滲析膜分離技術(shù)與離子交換技術(shù)有機(jī)地結(jié)合起來(lái)的一種新的制備超純水(高純水)的技術(shù)，它利用電滲析過(guò)程中的極化現(xiàn)象對(duì)填充在淡水室中的離子交換樹(shù)脂進(jìn)行電化學(xué)再生。

　　EDI膜堆主要由交替排列的陽(yáng)離子交換膜、濃水室、陰離子交換膜、淡水室和正、負(fù)電極組成。在直流電場(chǎng)的作用下，淡水室中離子交換樹(shù)脂中的陽(yáng)離子和陰離子沿樹(shù)脂和膜構(gòu)成的通道分別向負(fù)極和正極方向遷移，陽(yáng)離子透過(guò)陽(yáng)離子交換膜，陰離子透過(guò)陰離子交換膜，分別進(jìn)入濃水室形成濃水。同時(shí)EDI進(jìn)水中的陽(yáng)離子和陰離子跟離子交換樹(shù)脂中的氫離子和氫氧根離子交換，形成超純水(高純水)。超極限電流使水電解產(chǎn)生的大量氫離子和氫氧根離子對(duì)離子交換樹(shù)脂進(jìn)行連續(xù)的再生。傳統(tǒng)的離子交換，離子交換樹(shù)脂飽和后需要化學(xué)間歇再生。而EDI膜堆中的樹(shù)脂通過(guò)水的電解連續(xù)再生，工作是連續(xù)的，不需要酸堿化學(xué)再生。

　　典型半導(dǎo)體行業(yè)清洗用超純水設(shè)備制備工藝

　　預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線sj器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)

　　此純水設(shè)備的特點(diǎn)如下：

　　(1)出水水質(zhì)具有{zj0}的穩(wěn)定度

　　(2)能連續(xù)生產(chǎn)出符合用戶(hù)要求的超純水

　　(3)模塊化生產(chǎn)，并可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制

　　(4)不需酸堿再生，無(wú)污水排放

　　(5)不會(huì)因再生而停機(jī)

　　(6)無(wú)需再生設(shè)備和化學(xué)藥品儲(chǔ)運(yùn)

　　(7)設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小

　　(8)運(yùn)行成本和維修成本低

　　(9)運(yùn)行操作簡(jiǎn)單，勞動(dòng)強(qiáng)度低

　　適用范圍

　　·化工材料的生產(chǎn)和加工過(guò)程所用的溶劑及清洗過(guò)程

　　·超純材料和超純化學(xué)試劑

　　·實(shí)驗(yàn)室和中試車(chē)間

　　·電子半導(dǎo)體、集成電路板上用到的化工材

　　·石英、硅材料生產(chǎn)、加工、提純

　　·高純墨水、傳真打印機(jī)中的噴墨、納米墨水