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大行程壓電陶瓷納米定位平臺
產品說明:
大行程納米定位平臺采用了{zg}精度的壓電陶瓷驅動技術和高剛性低成本的設計技術。
特點:
● ESC系列平臺可被用于常溫和大氣壓環境,有些型號還可用于超高真空環境。
● ESC系列平臺采用了十字交叉滾柱導軌結構,其承載能力可高達數公斤,其俯仰,方位和轉動角度偏差小于0.1mrad。
● 同時,其{zd0}行程可達50mm,單步進給量可小至50nm。另外,可選配的用于閉環控制的傳感器的分辨率達1nm。這個系列平臺備有多種形式,尺寸和行程。并可直接互相組合成多軸平臺。