(1) 在精密視覺檢測設備中,如硅片檢測過程要求其運動系統具有較高的精度,實現其中的精密直線運動對整個復合運動平臺至關重要.采用直線電機驅動的方式設計了一套精密直線運動平臺,闡述了其機械系統和控制系統設計過程.實驗結果和實際應用表明:本平臺比目前采用滾珠絲杠驅動的直線運動平臺具有更高的精度、更大的加速度、運行更平穩和更長的壽命等優點,可以完成硅片檢測過程要求的運動,運動精度滿足了應用場合的要求.</p><p> (2)在數控加工行業中,傳統的“旋轉電機+滾珠絲杠”的傳動形式所能達到的進給速度為30m/min,加速度僅為3m/2s。直線電機驅動工作臺,速度為傳統傳動方式的30倍,加速度是傳統傳動方式的10倍,可達10g;剛度提高了7倍;直線電機直接驅動的工作臺無反向工作死區;由于電機傳動慣量小,由其構成的直線伺服系統可以達到較高的頻率響應。此外,在壓力機、坐標測量機、水切割機、等離子切割機、快速原型機及半導體設備的X-Y工作臺上直線電機都有應用。