特點(diǎn)：
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、{gx}率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
特點(diǎn)：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
|
型號
|
MTM-3020MA
|
|
工作臺
|
金屬臺尺寸(mm)
|
500 x 330
|
|
玻璃臺尺寸(mm)
|
350 x 250
|
|
X、Y軸運(yùn)動行程(mm)
|
300 x 200
|
|
手動Z軸行程(mm)
|
120
|
|
自動Z軸行程(mm)
|
2
|
|
外形尺寸(mm)
|
825 x 660 x 910
|
|
儀器重量(kg)
|
130
|
|
X、Y、Z軸分辨力(μm)
|
0.5
|
|
自動Z軸分辨力(μm)
|
0.1
|
|
示值誤差(μm)
|
E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm)
|
|
物鏡放大倍數(shù)誤差
|
包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%
|
|
落射照明光源
|
可調(diào)高亮度鹵素?zé)?
|
|
底光照明光源
|
可調(diào)高亮度LED燈源
|
|
|
目視系統(tǒng)
|
影像系統(tǒng)
|
|
物鏡放大倍數(shù)
|
5X、10X、20X、50X
|
5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡
|
|
目鏡放大倍數(shù)
|
10X雙鏡筒
|
1/2”CCD攝像機(jī)
|
|
視頻總倍率
|
50X ~500X
|
142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)
|
|
單層透明膜厚度測量模組
|
|
高精度測量模式
|
快速測量模式
|
|
厚度測量范圍
|
100nm ~300nm
|
300nm ~500nm
|
500nm ~3μm
|
3μm ~20μm
|
|
分辨力
|
5nm
|
5nm
|
7.5nm
|
0.1μm
|
