AALBORG氣體質量流量計

美國Aalborg, Aalborg氣體質量流量計, Aalborg控制器

美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上zm的氣體質量流量計/控制器的生產廠家，其產品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學 、石油化工、醫藥、環保等領域。

產品特點：xjb高、響應速度快、可靠性高，易于集成、環路保護、備總量計數器

典型應用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。

設計特點：
－剛性金屬結構 
－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－{zd0}壓力500psig（34.5Bar） 
－泄漏率1＊10-7氦氣 
－NIST系統標定可追蹤的證明 
－可傾斜的LCD讀表 
－0-5Vdc或4-20mA信號輸出 
－電路保護 
－可用作便攜式的設備 
－0到100％比例顯示 
－可配備流量計算機 

精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。 
重復性：±0.5％滿量程 
回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒 
溫度系數：0.15％滿量程／℃ 
壓力系數：0.01％滿量程／psi（0.07bar） 
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃） 
輸出信號：0-5Vdc，最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 
傳感器輸出：＋12Vdc；{zd0}200Ω。＋24Vdc可選 
時間恒量：800ms

氣體壓力：{zd0}1000psig（70bar）。可選20psig（1.4bar） 
流體接觸面材質：A：GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環 
B：GFC17S，37S，47S，57S，67S，77S不銹鋼系列：316不銹鋼、氟橡膠圓環可選氯丁橡膠圓環。 
方位靈敏度：水平到垂直旋轉低于15度；標準校準是在水平位置 
連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR?或1／8"卡套可選（GFC17） 
GFC47：3／8"卡套螺紋 
GFC57：3／8"卡套螺紋 
GFC67：1／2"卡套螺紋 
GFC77：3／4"卡套螺紋 
VCR?或3／4"卡套可選（GFC77）