佛山永利氣體有限公司倫教經營部主營二氧化碳、乙炔、混合氣、氬氣、氮氣、氧氣、液氧、液氬、液氮、并銷售各種氣瓶、氣體設備及配件,在廣東佛山順德龍江鎮、樂從鎮、勒流鎮、容桂鎮、倫教鎮等地區的客戶提供全面周到的運輸。
用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣,為了提高硅晶體的質量,如何選用較高純度的氬氣,是制作硅晶體的一個議題,通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時,水分也小于1ppm時,制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命并能達到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求,由于一般液氬汽化后未經過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm,有時氣體供應商提供的氬氣超過了此范圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質量,所以往往給生產產品質量造成影響,有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質量如何,只要經過純化裝置的處理后,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的,一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有保證的。
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