干潔大氣由多種氣體混合組成[1] 。

（1） 按濃度分：

按照各成分在大氣中的濃度，可分為主要成分、微量成分和痕量成分（次要成分）。

1）主要成分：N2、O2、Ar、CO2等，其容積含量占全部干潔空氣的 99.99% 以上。

2）微量成分：濃度在1~20 ppmv，如CH4等

3）痕量成分：濃度在1 ppmv以下，重要的bao括O3、H2、氮氧化合物、硫化物及人為污染物fu氯化烴類化合物等。

產(chǎn)品說明

氬氣是無色、無味、單原子的惰性氣體，原子量為39．948，密度為 1．78kg／m3（空氣密度為 1．29kg／m 3）。氬氣的重量是空氣的1．4倍，可在熔池上方形成一層穩(wěn)定的氣流層，具有良好的保護(hù)性能。氬氣的主要應(yīng)用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等。用作ICP，氣相色譜儀等儀器的載氣，標(biāo)準(zhǔn)氣、平衡氣、零點(diǎn)氣等。

國家標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)氦氣GB/T 4844.1—1995

產(chǎn)品

名稱

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

純度

（V/V）≥

氖含量

ppm ≤

氫含量

ppm ≤

氧（氬）含量

ppm ≤

氮含量

ppm ≤

CO+CO 2 +CH 4

ppm ≤

水份含量

ppm ≤

高純氦

GB/T5829-95

99.999

2

0．5

1

1

0．4

2[1]