用臭氧氧化法處理廢水所使用的是含低濃度臭氧的空氣或氧氣。臭氧是一種不穩定、易分解的強氧化劑，因此要現場制造。臭氧氧化法水處理的工藝設施主要由臭氧發生器和氣水接觸設備組成。目前大規模生產臭氧的{wy}方法是無聲放電法。制造臭氧的原料氣是空氣或氧氣。原料氣必須經過除油、cs、除塵等凈化處理，否則會影響臭氧產率和設備的正常使用。用空氣制成臭氧的濃度一般為10～20毫克/升；用氧氣制成臭氧的濃度為20～40毫克/升。這種含有1～4%(重量比)臭氧的空氣或氧氣就是水處理時所使用的臭氧化氣。臭氧發生器所產生的臭氧，通過氣水接觸設備擴散于待處理水中，通常是采用微孔擴散器、鼓泡塔或噴射器、渦輪混合器等。臭氧的利用率要力求達到90%以上，剩余臭氧隨尾氣外排，為避免污染空氣，尾氣可用活性炭或霍加拉特劑催化分解，也可用催化燃燒法使臭氧分解。
臭氧具有很強的氧化力，目前是已知最強的氧化劑之一。 臭氧在污水處理中的用途是最廣泛的，其原理都是利用的臭氧的強氧化性。臭氧分解后，分解為氧氣。臭氧一般用在污水的深度處理階段，在排放之前的清水池或氧化池投加。其投加濃度取決于污水中的物質組成和要求達到的效果，一般由小試決定。無小試的通用投加濃度在10-15mg/L(氧氣源)，由于各臭氧廠家臭氧濃度不同，投加濃度也有差別，如果是空氣源的投加濃度要擴大5-10倍，臭氧濃度越高氧化性越強，效果也越好
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