影響因素編輯影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對(duì)于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應(yīng)列入慮因素。一般操作臺(tái)或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其附近之潔凈度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少{zd1}；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：⑴天花板系統(tǒng)：bao括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。⑵空調(diào)系統(tǒng)：bao括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。⑶隔墻板（Partitional wall）：bao括窗戶、門。⑷地板：bao括高架地板或防靜電舒美地板。⑸照明器具：bao括日光燈、黃色燈管等。潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件：●不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕；●不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；●吸濕性小；●為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。

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潔凈室的監(jiān)測(cè)潔凈室需要控管的項(xiàng)目bao括溫度、濕度、靜壓差、風(fēng)速、微粒、浮游菌、沉降菌，當(dāng)然在設(shè)計(jì)之初還有噪音、光照度、安全、節(jié)能等方面的慮。對(duì)于使用者來說使用過程中學(xué)會(huì)日常監(jiān)測(cè)非常重要，這是保證教學(xué)科研工作的前提之一，也有利于在出現(xiàn)異常數(shù)據(jù)時(shí)排查原因。 溫度、濕度、靜壓差、風(fēng)速是預(yù)測(cè)試指標(biāo)，只有這些指標(biāo)都在規(guī)定范圍內(nèi)，后續(xù)3個(gè)主測(cè)試指標(biāo)的監(jiān)測(cè)才有意義。溫濕度要求使用者可以自己把握，如無特殊要求時(shí)，溫度在18～26℃，相對(duì)濕度在45%～65%為宜。潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)>10 Pa；相鄰不同潔凈級(jí)別的潔凈室之間的壓差應(yīng)>0.5 Pa；潔凈區(qū)與室外壓差應(yīng)>12 Pa。單向流凈室實(shí)測(cè)室內(nèi)平均風(fēng)速應(yīng)大于設(shè)計(jì)風(fēng)速，但不應(yīng)超過15%。以上測(cè)試可以通過溫濕度儀、微壓計(jì)、風(fēng)速儀來完成。

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減少潔凈空間體積的實(shí)用技術(shù)之一是建立潔凈隧道或隧道式潔凈室，其可以滿足生產(chǎn)對(duì)高潔凈度環(huán)境和節(jié)能的雙重要求，使?jié)崈艄に噮^(qū)空間縮小到{zd1}限度，風(fēng)量大大減少。另外，還可采用潔凈隧道層流罩裝置，以抵抗?jié)崈舳鹊偷牟僮鲄^(qū)對(duì)潔凈度高的工藝區(qū)可能存在的干擾與污染。在同樣的總風(fēng)量下，可以擴(kuò)大罩前潔凈截面積5~6倍。同時(shí)，還可通過潔凈小室、潔凈工作臺(tái)、自凈器、微環(huán)境等形式，如帶層流裝置的稱量工作臺(tái)以及帶層流裝置的灌封機(jī)等，實(shí)行局部氣流保護(hù)，以維持該區(qū)域的高潔凈級(jí)別要求，且減少潔凈空間體積。