【美清凈化工程像您推薦——潔凈室】
潔凈車間是否達標有哪些測試標準?
為證明潔凈車間工作得令人滿意,必須證明其滿足了下述準則的要求: 1.潔凈車間的送風量充足,足以稀釋或xc室內產生的污染?!?2.潔凈車間的送風不會顯著增加室內的污染?!?.潔凈車間內的空氣是從潔凈區向潔凈程度差的區域流動,受污染空氣的流動達到{zd1}程度,空氣在門口處和室內建筑中的流動方向正確。 4.室內空氣的運動狀態可保證密室內沒有高濃度聚集區域。 如果潔凈車間達到了上述這些準則的要求,就可以測量其粒子濃度或微生物濃度(必要時),以確定其達到了規定的潔凈車間標準。

影響因素編輯影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入慮因素。一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。潔凈室內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現象減少{zd1};組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。潔凈室的構成是由下列各項系統所組成(在所組成的系統分子中是缺一不可的),否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室:⑴天花板系統:bao括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或 Ceilingframe)。⑵空調系統:bao括空氣艙、過濾器系統、風車等。⑶隔墻板(Partitional wall):bao括窗戶、門。⑷地板:bao括高架地板或防靜電舒美地板。⑸照明器具:bao括日光燈、黃色燈管等。潔凈室之建筑主體構造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:●不會因溫度變化與振動而發生裂痕;●不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;●吸濕性??;●為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。
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潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、xj等污染物排除,并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非{bfb}沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方英寸1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
