故在這品種型里通常見到的是兩臺串聯后再用雙級水環泵作前級泵組成機組。
(2)水環泵-大風泵機組:即便采納雙級水環泵,極限真空度的普及也只是在定然的規模之內,這是所以受到水的飽和蒸汽壓的制約。水環泵的實踐極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。那末思忖氣體返流等成分的莫須有,理論上溯環泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了普及前級泵的極限真空度,還能夠使水環泵與大風泵組合運用。
那樣,串聯一級大風泵后的極限真空度可達20~30Torr,那末水環泵與二級大風泵組合,則極限真空可達2~10Torr。
(3)水環泵串聯機械真空泵:此機組重要用來須要解決一大批水蒸汽,且極限真空度務求較高的抽真空零碎,比如在真空干澀上面。
氣體采樣泵有:PM系列(具體型號如:PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503);微型真空泵有: VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,這些系列下的所有規格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025等。
對于微型泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定,把它與泵的技術參數'進氣口允許阻力'Por值比較就可以知道選型是否合適。通常根據經驗采用簡便的方法確定,比如下述幾種情況都屬于負載較大(即泵的抽氣端阻力較大),只能在微型真空泵范圍內選型:①在泵的抽氣端要接很長的管道,或管道彎曲點多、彎曲厲害甚至會阻塞封閉,或管道內孔很小(比如小于φ2毫米);②在管路上有節流閥、電磁閥、氣路開關、過濾器等元件;③泵抽氣口與密閉容器連接,或該容器雖未密閉但進氣量較小;④泵抽氣口與吸盤連接,用于吸附物體(如集成塊、精密工件等);⑤泵的抽氣端與過濾容器相連,容器口放置濾網,用于加速液體過濾。
真空泵是一個量大面廣的產品,產量很大,產值不高,但它確實是一個直接影響到真空成套設備性能質量的必不可少的基礎產品。真空泵的市場根據用戶的需要而發生動態變化。市場增長的主要驅動力來自于半導體工業的迅速發展以及干泵和分子泵應用領域的日益擴大。
目前,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。
我國生產真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右,僅相當于美國一家公司真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應用領域都在不斷變化和發展。我國真空泵制造業有著悠久的歷史和雄厚的基礎,國外真空泵已經在各個不同領域得到應用并經過驗證,