臭氧的產生方式主要有：電暈法、電解法、紫外線法、核輻射法、等離子體法等等。食品、醫院及制藥等企業已經投入應用的臭氧發生技術主要有電暈放電法和低壓電解法。電暈高壓放電法電暈放電法產出臭氧的原理是兩個平行的高壓電極之間平行放置一個介電體（通常采用硬質玻璃或陶瓷作介電體也有用不銹鋼），并保持一定的放電間隙，當在兩極間通入高壓交流電時，在放電間隙，形成均勻的藍紫色電暈放電，空氣或氧氣通過放電間隙，氧分子受到電子的激發獲得能量，并相互方式彈性碰撞，聚合成臭氧分子。

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