應用及特性:
在半導體廠內的超純水處理系統是一龐大的,復雜的系統,并包含了許多不同的單元,而整個系統的功能及設計主要是為了得到{jz}的超純水。雖然沒有任何單一的單元可以確保最終的采水水質,但是終端精制混床是超純水在接觸到半導體芯片前的{zh1}一道化學精制的處理程序,其重要性是不可忽視的。不像對化學物質呈現惰性的管路及過濾材料,離子交換樹脂是帶化學性反應的聚合物,所有的待處理水會wq的通過樹脂,因此精制混床樹脂是除去微量化學污染物質的{zh1}一道防線。除此之外,這些樹脂絕不能釋出任何物質,進而污染到不能間斷的超純水供水系統。因為這些嚴格的條件,終端精制混床樹脂必須是{zg}的品質,且同時必須是正確的被使用的。
列的說明將提供所謂的正確使用所需要的相關數據,以期AMBERJETUP6040可以得到{zj0}的效能。
終端精制的設計概念:
現今的超純水討論的是兆分之一(ppt)不純物的范圍,在如此的嚴格的要求下,終端精制混床樹脂的設計是沒有任何彈性的。此終端精制混床樹脂的使用必須確保除去所有的不純物,例如前端制程所可能導入的再生劑化學殘余物質等。在水力的設計上,必須確保采水周期時水流分布是均勻的,同時壓差及離子交換速率也必須是平衡的。此最終精制的效能,必須是在可信賴的設備及可負擔的成本考量下被確保的。整個系統必須是精簡的、易操作及不容易故障的。大部份的超純水系統工程師及供貨商會考慮使用不再生型的終端精制混床樹脂來達到上述dui{zh1}精制系統的要求。而AMBERJETUP6040正是wq符合這些要求的{zj0}選擇。在正確的不再生精制器的設計及操作下,AMBERJETUP6040樹脂可以符合成本、效能、使用壽命等的要求及最重要的可信賴性。
建議入水水質
入水水質>17MW-cm
入水二氧化硅濃度<2ppb
入水總有機碳濃度(TOC)<15ppb
1.此樹脂可用于此建議之外的操作條件,但結果可能不是{zj0}的。
2.1BV(床容積)=每1m3樹脂為1m3溶液
樹脂基本特性:
在不再生的終端精制應用上,超純水的質量是遠較樹脂的基本特性來的重要,但暸解所使用的樹脂特性以
得到{zj0}的效能及最長使用壽命仍然是不可忽視的。AMBERJETUP6040的主要樹脂特性如下表所示,這些
數據顯示了組成AMBERJETUP6040的陽陰樹脂特性,而這些特性賦予AMBERJETUP6040高交換容量、均一
顆粒大小等的嚴格樹脂標準。
Table2:TypicalPropertiesofAmberjetUP6040ComponentResins
陽樹脂H+陰樹脂OH-
含濕量,%44.0-51.054.0-60.0
總交換容量,eq/L32.0031.10
均一系數£1.20£1.20
H型,%含量399-
OH型,%含量-395.0
Cl型,%含量-£0.5
CO3型,%含量-£5.0
SO4型,%含量-£0.1[1]