Plasma Sources 等離子源系列
法SIREM公司是擁有40多年的微波和射頻工程經驗的高科技公司,可為用定制電子設計、應用開、工藝設計和生產標準化的微波、射頻、直流生器、等離子源等相關產品。
微波技術在等離子實驗室和工業中不斷新的應用,這是由于微波等離子的許多優爿點,例如,欣源科技(北京),.欣源科技(北京)|||等離子源微波頭2.45GHz
,欣源科技(北京)有限公司,超密度等離子-離子和活物種,欣源科技(北京),.欣源科技(北京)|||等離子源微波頭2.45GHz
,欣源科技(北京)有限公司,電極更少,在各種壓力下的操作。微波輔助等離子在金剛石沉積、表面活化、菌、納米材料合成、氣凈化等方面的應用。
為了滿足這些復雜技術要求的越來越苛刻的要求,我們已經開出了自己的等離子源和應器。
我們可以提關于選擇等離子設備和適合你需要的微波頻率的建議,還可根據要求提特殊配置,并且樂于幫助開您自己應用的設備。
要應用領域:
分析
金剛石沉積
表面清洗
蝕刻
防止污染
化學合成
(301)Downstream 等離子源
這種表面波的等離子源產生等離子,在個標準的WR340波導中(直徑20-60毫米)。這種等離子源可以根據壓力、微波功率和等離子氣的質,使長等離子的點火和維持。
壓力范圍:10-2mbar到大氣壓力
氣類型:r,N2,O2,空氣,……
{zd0}功率:6kW
應用類型:自由基/應物種的灬產生,表面jh,PECVD,氣減排,氣化,mj(UV),納米粒子合成
(302)Sur-fa-guide 等離子源
壓力范圍:mbar到atm
要用于:氣減排、氣化、mj、納米粉合成、表面活化、大氣高溫化學
(303)UR W--V-E 同軸ECR等離子源(低壓等離子)
KF/CF法蘭,橡膠密封圈/無氧銅密封圈,搭配固態微波生器,可組成陣列
(304)HI- W--V-E 同軸碰撞型等離子源(中壓等離子)
KF/CF法蘭,橡膠密封圈/無氧銅密封圈,搭配固態微波生器,可組成陣列
(305)S- W--V-E等離子源(Sur-face W--V-E plasma source 表面波等離子源,搭配固態微波生器),要特點:
頻率2450MHz±50MHz
{zd0}微波功率200W
集成到DBD點火系統(Dielectric Barrier Discharge介質阻擋放電點火系統)
壓力范圍10-2mbar到大氣壓
r和基于r基混合物可在1atm下使用
有氣都可在更低壓力下使用
直徑6或8毫米的電介質管
Swagelok 6mm氣連接器
要應用領域:表面活化、元素分析、原子層沉積、氣減排、分子jh/物質活化、菌消、減少xj附著、慢傷口和受感染皮膚的zl
欣源科技SYNERCE{dj2}代理法SIREM產品系列,包括:
微波生器(微波電源)2.45GHz系列、微波生器(微波電源)915MHz系列、等離子源(Plasma Sources、微波頭)、微波化學系列MW Chemistry、射頻生器(RF生器、射頻電源)、用于等離子的直流電源DC系列、微波等離子專用水冷機系列
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