凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非{bfb}沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負i面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。    

一次過濾液相捕獲： 旋轉式螺旋過濾器，將吸入的介質中的固體顆粒首先攔截下來。* 通過對較大固體、粉塵顆粒在前段進行徹底的攔截，大大地減輕了后端多級過濾的壓力。二次過濾氣相攔截：高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。* 高壓碰撞技術：氣溶膠 粒子被粗效過濾件收集，細小的顆粒有逐級濾材完成。* 離心分離攔截液相霧 氣：在氣流中由不同的工作件定向收集介質對象，不同的介質選用最合i適的過濾結構和材質。* 個性濾網攔截氣溶膠粒子：在氣流結構方面改良固有結構減少阻力提{gx}率。各風道口表面選用美國杜邦公司生產的F4進行處理，使機器過濾精度高壽命長。三次過濾真空吸霧：* 含有細小粉塵的各油霧經第三級分離被收集后，經后置活性炭過濾器能有效祛除異味和有害氣體，潔凈空氣在風機負壓的作用下，經風機直接排入空氣中。

凈化設備可使用油霧分離器，油霧凈化器，油霧處理器，油霧收集器，油霧過濾器、袋式除塵器、無塵工作臺、初效/中/{gx}過濾器、cj過濾器、水蒸發空調機、水溫空調等。大致的工作原理為：當控制器接通電源時，油霧分離器口產生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內。在油霧分離器內風輪的作用下發生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在{gx}吸霧材料的阻擋下實現空氣與水的分離。