典型真空系統原理介紹：

1、粗真空泵（如水蒸汽噴射或水環泵）直接從大氣壓下為真空室排氣，組成的真空系統極為粗真空系統。該系統是簡單的真空系統。

2、低真空系統 用低真空泵（如油封式機械泵）給真空室排氣，即可組成低真空系統。

3、中真空系統 中真空系統一般是有兩個以上的真空泵串聯組成的。

（1）油增壓泵串聯油封機械泵組成的真空系統。該系統的工作壓力范圍為1.33~1.3310^-1 Pa。其優點是系統簡單，抽氣能力大，振動小，工作穩定可靠，維修方便。缺點是預抽時間比羅茨泵系統長。

（2）羅茨泵串聯油封機械泵的真空系統。該系統的工作電壓范圍為1.33~1333Pa。優點是抽氣能力大，啟動快，預抽時間短。缺點是工作時噪聲較大。

（3）羅茨泵串聯小型羅茨泵（中間泵），再串聯機械泵的真空系統。系統的工作壓力范圍為0.33~1333Pa。該系統不但具備了羅茨泵系統的特點，而且加寬了工作壓力范圍和很好壓力縮比。

（4）羅茨泵串聯水環泵的真空系統。該系統適合于排除灰塵較多的應用設備，工作壓力范圍在1.3310-2 1.3310^-3 Pa。

4、高真空系統：

（1）擴散泵串聯機械泵的真空系統。此系統可獲得1.3310- ~1.3310^-5 Pa的真空度，一般用在工作時放氣量比較小的應用設備上。該系統的結構簡單，工作可靠，成本低。缺點是系統啟動慢，預抽時間長。擴散泵的油蒸汽容易返流到真空室中去。

（2）擴散泵串聯油增壓泵，在串聯油封機械泵的真空系統。該系統的預抽時間短，但啟動較慢。

（3）擴散泵串聯羅茨泵（機械增壓泵），在串聯機械泵的真空系統。它的啟動慢，但預抽氣時間短

5、超高真空系統

（1）擴散泵串聯機械泵冷阱系統。擴散泵串聯各個液氮冷阱，而且真空室和冷阱能耐400~450的烘烤。在此溫度下，可以清楚真空室壁及阱壁上吸附的氣體及凝結的泵油。該系統一般可得到1.3310 ^-7 Pa的極限真空度。

（2）渦輪分子泵串聯機械泵的真空系統。此系統不烘烤可獲得10^-6 Pa的真空度，烘烤后可達到10^-8 Pa。 該系統的特點是比較清潔，可構成無油超高真空系統。

（3）濺射離子泵無油超高真空系統。以濺射離子泵為主泵，使用兩個分子篩做預抽泵，其中一個分子篩泵用來抽走真空室和濺射離子泵中的大氣壓下的氣體，另一個用來抽走烘烤機離子泵啟動時放出來的氣。

（4）低溫泵超高真空系統。用低溫泵作為主泵，并聯或串聯分子篩吸附泵（做預抽真空泵）。該系統也可以用機械泵作為預抽真空泵，但必須在油封機械泵的入口管路上設置油蒸汽捕集器。

（5）組合超高真空系統。對于某些有特殊要求的真空系統，如對于既要求得到超高真空或無油超高真空，有同時滿足粗抽需要及能應付工藝過程中放出來的大量氣體這樣的系統，可采用組合式系統來滿足要求。主泵為濺射離子泵，為了提高真空度及排走蒸收材料時產生的大量氣體，配有鈦升華泵。極限真空度可達6.6710^-7 Pa。用分子篩泵做主泵的預抽泵。此外，系統還配有粗抽系統，在壓力大于1333Pa時，機械泵不易返油，用機械泵直接抽真空室，壓力低于后，機械泵阱吸附阱從旁路抽真空室。

另一種形式組合的超高真空系統。該系統適合于鈉燈封接爐等設備。系統的主泵為濺射離子泵-鈦升華泵組。真空室極限真空可達到510^-7 Pa。系統配有油擴散泵-機械泵組成的機組，用來粗抽和作為主泵的預抽泵，同時能抽走工藝過程中放出來的大量氣體。

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