高精度光學測量儀 MarSurf WM 100 有亞納米級分辨率和測量精度。3D 白光干涉儀測量系統。
亞納米分辨率和測量度下有高精度
適合所有光學和反射表面、精細技術表面和電路板、半導體產品和生物組織表面
2D 表面分析和測量評估
地形學 3D 表面分析和測量評估
快速測量 #96 短測量時間
在 4 個軸上手動定位工作臺和物體
多種鏡頭選擇，可根據測量對象進行調整
采用花崗石底座的穩固型設計
基于 MountainsMap© 的評估軟件

測量原則
使用干涉儀，白光干涉儀
光源 (WLI)：高功率 LED，505 nm

測量范圍 mm
傳感器裝置在 Z 方向可手動移動 200 mm
載物臺在 X 和 Y 方向可手動移動

干涉儀，白光干涉儀：
測量范圍(WLI)：高 100 μm（垂直）
接口      230 V, 50 Hz

機器建造
所有類型純金屬表面（打磨，軋制等），以及激光結構表面、細陶瓷和塑料表面、鑄模表面

醫療
植入體、假肢和儀器的金屬、陶瓷和塑料表面

電子
涂層表面分析，電子和半導體組件的測量和分析

光學
各種光學組件（所有材料）的粗糙度分析

CT 120 雙軸傾斜工作臺

設置工作臺角 +/- 30°

標準套件

白光干涉儀：
WLI 物鏡 2.5x0.075；  5x0.13； 10x0.3；  20x0.4； 50x0.55；  100x0.7

可選：
配備減震器來為納米和亞納米范圍測量優化減震

傳感器系統，包含：
WLI 傳感頭
相機，768 x 582 像素，高 48 圖像/秒
100 μm Z 軸，帶壓電驅動
WLI 軟件模塊，"Inspector" 軟件
花崗石底座和立柱，配有手動定位傳感器系統
手動 XY 載物臺用于測頭定位
20x0.4 DI 鏡頭（白光干涉儀）

干涉儀一直被用于測量表面形狀的高精度工具，或者用于量塊校準。馬爾提供菲索干涉儀和白光干涉儀，其中白光干涉儀可以達到0.1納米的超高分辨率，用來測量超高精度3D表面粗糙度。

東莞市高騰達精密工具有限公司

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