精密深度測量技術——日本UNIOn三軸測量顯微鏡

品牌：日本UNIOn

型號：DHII系列

HISOMET系列測量顯微鏡為專業的X、Y、Z軸三軸測量顯微鏡，X、Y工作臺行程由50x50mm到大行程500x500mm，光學放大倍數由3X至1000X。為求提高工件在Z軸深度/高度測量時的精度，Z軸對焦采用專利光學“裂像指示器”

結合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導軌，可測范圍25mm，精度高達1μm，配合特殊附件，測量分解度更可達0.5μ m或0.1μ m。

實際應用：
 

技術規格：

型號：DH II

工作臺行程：50x50mm 100x100mm 100x200mm 150x150mm 150X 300mm200x200mm300x300mm 500x500mm

Z軸測量范圍：25mm

X、Y、Z軸數顯分解度：0.0005mm / 0.0001mm

Z軸讀數裝置：內置數顯表/外置數據處理系統

反射/透射照明系統：白色LED/外置冷光源

標準目鏡：NWF10X

標準物鏡(W.D.12mm)：PLM10X

讀數系統：內置數顯讀數器/多功能數據處理器/測量軟件電腦系統

選配物鏡：

PL M3X (W.D.8.5mm)，

PLM5X (W.D.19mm)，

PLLWDM20X (W.D.11.2mm) ，

PLLWDM40X (W.D. 10mm) ,

SPLM50X (W.D.1. 5mm)， 

PLLWDM100X (W.D. 5. 0mm) ,

SPLM100X(W.D.1.0mm)

選配件:

1)特殊Z軸測量范圍150mm

2)顯示器/CCD視頻系統

3)多功能數據處理器/測量軟件電腦系統

4) 0.1um數顯分解度

5) 工作臺轉盤

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