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日本UNION DCM-40、DCM-60兩面觀察測(cè)量顯微鏡

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東莞市高騰達(dá)精密工具有限公司

東莞市高騰達(dá)精密工具有限公司位于東莞，隸屬偉達(dá)集團(tuán)集下公司，是偉達(dá)集團(tuán)國(guó)內(nèi)總部。
偉達(dá)集團(tuán)創(chuàng)立于1981年，至今已將近40年歷史，是一家專營(yíng)高精密數(shù)控機(jī)床、精密測(cè)量?jī)x器、精密測(cè)量工具的公司。員工超過100位，除香港總公司和東莞總部外，于江門及蘇州均設(shè)立了分公司，有陳列室及維修中心，可隨時(shí)為客戶提供更快捷的服務(wù)。
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日本KIRA吉良機(jī)床KPC-30b丨PCV-30
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DCM-40/60

雙視顯微鏡（適用于直徑達(dá) 4 和 6 英寸的晶圓）

DCM-40/60 是顯微鏡系統(tǒng)，在顯微鏡的視野中疊加樣品（晶圓）的頂部和底部圖案，然后通過測(cè)量系統(tǒng)比較位移來測(cè)量位移長(zhǎng)度。由于安裝在頂部和底部的物鏡有 5 種類型，總放大倍率從 50X 到 1000X，因此可以觀察各種樣品。

DCM-60

DCM-40

目標(biāo)
（
由客戶選擇）

（總放大率）	(50X)	(100X)	(200X)	(400X)
	PLM5X	PLM10X	PLLWDM20X	PLLWDM40X
底部	PLM5X	PLM10X	PLLWDM20X	PLLWDM40X

目鏡

一對(duì)SUW10X
（包括千分尺分劃板）

一對(duì)UW10X
（包括千分尺分劃板）

總放大率

50X 至 400X（更大的放大倍數(shù)可根據(jù)客戶訂單提供。）

上物鏡移動(dòng)距離

24mm

30mm

下物鏡移動(dòng)距離

3 毫米

12mm

篩選

上：綠色 / 下：紅色

舞臺(tái)和柜臺(tái)

150 x 150mm 手動(dòng)載物臺(tái)
KC-12R 計(jì)數(shù)器（1μm 讀數(shù)）

50 x 50mm 手動(dòng)載物臺(tái)，數(shù)字測(cè)微計(jì)（1μm 讀數(shù)） 100 x 100mm 手動(dòng)載物臺(tái)，KC-12R 計(jì)數(shù)器（1μm 讀數(shù)）

舞臺(tái)旅行

X：150mm Y：150mm

X : 50mm Y : 50mm
X : 100mm Y : 100mm

晶圓架

6 英寸

4 英寸

持有人可以在定制的基礎(chǔ)上提供特殊設(shè)計(jì)的形狀。

舞臺(tái)旋轉(zhuǎn)

360°

照明

150W鹵素光導(dǎo)照明

材料厚度

20mm以下

30mm以下

校準(zhǔn)圖類型

光軸校準(zhǔn)校準(zhǔn)圖

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