黃銅掩膜版超薄0.05mm不銹鋼遮光片精細加工非標定制
光刻掩膜版(又稱光罩,英文為Mask Reticle),簡稱掩膜版,是微納加工技術常用的光刻工藝所使用的圖形母版。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形結構,再通過曝光過程將圖形信息轉移到產品基片上。
待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、鉻層和光刻膠層構成。其圖形結構可通過制版工藝加工獲得,常用加工設備為直寫式光刻設備,如激光直寫光刻機、電子束光刻機等。
掩膜版應用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領域都需要使用掩膜版,如IC(Integrated Circuit,集成電路)、FPD(Flat Panel Display,平板顯示器)、PCB(Printed Circuit Boards,印刷電路板)、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微機電系統)等。
掩膜版材質:
掩膜版根據基板材質的不同可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)。石英掩膜版使用 石英玻璃作為基板材料,光學透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整耐磨,使用壽命長,主要用于高 精度掩膜版,蘇打掩膜版則使用蘇打玻璃作為基板材料,光學透過率較高,熱膨脹率相對高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版;而凸版使用不飽和聚丁二烯樹脂作為基板材料,主要用于液晶顯示器(LCD)制造過程中的定向材料移印;菲林使用 PET 作為基板材料,主要用于電路板掩膜。