NexION 5000 ICP-MS具有：
· 干擾去除能力
· 出色的背景等效濃度(BECs)
· 基體耐受性
· 符合SEMI S2/S8法規和安規要求
NexION 5000 ICP-MS配備了一系列新型專有技術，其性能超越了傳統的三重四極桿技術，重新定義了您的期望值：
· 四組四極桿：
o 一組
四極桿離子偏轉器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一個基于離子能量的靜電質量分析器，對離子進行動態聚焦和質量篩選，同時把離子偏轉90度以實現與中性成分和光子分離，導入下一級四極桿
o 二組
為一個四極桿質量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質量分析器或將離子引導至四極桿通用池。它包含長預四極桿，可獲得更好的高能離子聚焦，從而具有單位質量或更好的質量分辨，佳分辨率 < 0.3 amu
o 第三組
為四極桿通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市場上由四極桿構成的池技術，具有動態帶寬質量調諧能力（從而可以對反應進行有效的控制），標配軸向場技術（從而可以使用所需的氣體），既可以作為離子聚焦加速的離子通道，又可以作為特定離子的質量選擇器，抑制池內副反應的產生，確保所需反應完，從而徹底去除干擾。
o 第四組
為第二個四極桿質量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質量分析器或將離子引導至檢測器。具有單位質量或更好的質量分辨，佳分辨率 < 0.3 amu
· 電子稀釋技術（EDR）擴展動態線性范圍至1012，允許在一次運行中，同時分析高低濃度元素，減少重復運行
· 極低的維護實現長時間運行：
o 第二代帶OmniRig?的三錐接口（TCI）技術與四極桿離子偏轉器（QID）相結合，從而實現錐后無需維護，保證儀器長時間運行和出色的穩定性
o 34 MHz自激式RF發生器提供免故障的客戶體驗——LumiCoil? RF工作線圈產生等離子體，它只需空氣冷卻（無需水冷或氣冷），從而無需維護且無需更換
· 通過外部狀態指示燈，可輕易得知分析狀態，提高了效率
· Syngistix?軟件（v. 3.0或更高版本）將多重四極桿的性能與充滿現代感的用戶界面整合，實現用戶友好的工作流程操作
· 可升級SEMI S2/S8認證（應急按鈕），從而符合半導體超凈間設施集成要求
規格
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深度
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85.0 cm
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高度
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85.0 cm
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產品品牌名稱
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NexION
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重量
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191.0 kg
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寬度
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114.0 cm
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