日本union高倍率工業顯微鏡,在非接觸光學方法下檢測焦點時,可在不受試樣物理損傷影響的情況下進行測量,如變形、沖擊或刻痕等。廣泛應用于半導體行業的焊縫精密測量!
高倍率工業顯微鏡應用場景
(1)引線框架高度
(2)IC探頭高度、探頭磨損程度
(3)焊線和焊球的高度
(4)多層PC板上的終端臺階
(5)硅片和砷化鎵上的步驟
(6)石英晶體上的臺階
(7)罐上的凹槽
(8)墊片厚度
總的來說,是焊接后焊縫高精密測量儀器。
高倍率工業顯微鏡產品特點
高倍率工業顯微鏡測量原理
該顯微鏡系統提供了一個的聚焦指示器,該指示器由折射率分劃(目標標記)和內置在顯微鏡反射照明光學系統中的分束棱鏡組成。它是根據光學原理設計的,在對焦狀態下,上下兩半重合,可以在試樣的對焦圖像上方觀察到,即使稍微散焦,也可以在分劃的上下兩半將折射率線分成兩條線。
高倍率工業顯微鏡的測量方法
通過認分劃上半部分和下半部分中的垂直索引線與兩條直線重合,確保的焦點,而不是判斷樣本表面的圖像是否模糊。因為這是一個的系統,既不受物鏡焦距的影響,也不依賴人眼辨別兩點的能力,與其他聚焦系統相比,焦點可以非常地確定。該聚焦系統和數字儀表允許非接觸、高精度測量表面之間的臺階高度。
高倍率工業顯微鏡的優勢
在非接觸光學方法下檢測焦點時,可在不受試樣物理損傷影響的情況下進行測量,如變形、沖擊或刻痕等。
參考圖-①由于采用了基于“分割目標"方法的聚焦指示器,只需將分劃的兩半重合即可進行高度的深度測量。由于操作簡單,這是各種應用的測量顯微鏡系統。在觀察測量點的微小表面狀況時,可以確定測量參考點和測量點之間的位置關系,也可以在同一視野內進行測量。
參考圖-②可通過使用高倍率物鏡提高測量精度。
參考圖-③可根據試樣表面條件選擇黑色條紋或白色條紋目標標記。由于杠桿可選擇三種目標標記狀態(黑色條紋、白色條紋和無),因此必要時可在無目標標記的情況下拍攝照片。
各種型號可通過觀察頭、測量臺等不同設備組合配置,取決于各自用戶的應用程序(參考系統圖)如果使用激光系統觀察透明、鏡面或梨皮表面,由于漫反射,容易出現聚焦誤差。在我們的光學系統中,目標標記可以投射到這些表面上,可以測量這些樣品表面的臺階高度。
高倍率工業顯微鏡產品尺寸