Pfeiffer HiPace 1200
上海伯東銷售維修德國普發(fā) Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可達(dá) 1250 l/s 的高性能. 對(duì)各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒. 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護(hù)等級(jí) IP54. 通過控制器, 監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)盡可能的保證的安全性. HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. HiPace 1200 通訊接口 RS-485, 遠(yuǎn)程遙控（Profibus/DeviceNet 備詢）, 多種配件供客戶選擇.
渦輪分子泵 HiPace 1200 特性
對(duì)各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進(jìn)入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認(rèn)證
防護(hù)等級(jí) IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求
監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)盡可能的保證的安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號(hào)
帶節(jié)流閥和閥門的集成凈化氣體系統(tǒng)
Pfeiffer HiPace 1200 技術(shù)規(guī)格
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型號(hào)
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-K
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 ISO-F
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HiPace 1200 TC 1200
DN 200 CF-F
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Ar 壓縮比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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H2 壓縮比
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6X103
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6X103
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6X103
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He 壓縮比
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2X104
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2X104
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2X104
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N2 壓縮比
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>1X108
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>1X108
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>1X108
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最 大預(yù)抽真空, N2 hPa
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2
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2
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2
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Ar全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s
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11
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11
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6
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H2 全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s
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>30
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>30
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>30
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He全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s
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>30
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>30
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16
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N2 全轉(zhuǎn)速時(shí)氣體流量hPa l/s
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20
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20
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16
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操作電壓 V AC
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100-120 / 200-240
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100-120 / 200-240
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100-120 / 200-240
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最 大電流 A
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10
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10
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10
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允許最 大磁場 mT
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6
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6
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6
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Ar抽速l/s
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1200
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1200
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1200
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H2 抽速l/s
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1100
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1100
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1100
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He 抽速 l/s
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1300
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1300
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1300
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N2 抽速l/s
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1250
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1250
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1250
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轉(zhuǎn)速 ± 2 % rpm
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37800
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37800
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37800
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啟動(dòng)時(shí)間 min
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2.5
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2.5
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2.5
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極限真空 hPa
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1X10-7
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1X10-7
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5X10-10
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重量 kg
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29.5
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30.5
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40.9
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HiPace 1200:
鍍膜: LED, 光伏, 硬盤鍍膜, 硬質(zhì)涂層, 卷繞鍍膜, 光學(xué)鍍膜, CD / DVD / PVD
工業(yè): 醫(yī)學(xué)技術(shù), 電子束焊接, 隔離真空, 燈管制造
研發(fā): 聚變研究, 等離子研究, 模擬空間站, 基本粒子物理學(xué), 生物技術(shù)
半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, MBE
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