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氮化硅與水幾乎不發生作用；在濃強酸溶液中緩慢水解生成銨鹽和二氧化硅；易溶于HF，與稀酸不起作用。濃強堿溶液能緩慢腐蝕氮化硅，熔融的強堿能很快使氮化硅轉變為硅酸鹽和氨。氮化硅在 600℃以上能使過渡金屬氧化物、氧化鉛、氧化鋅和二氧化錫等還原，并放出氧化氮和二氧化氮。
氮化硅陶瓷具有高強度、耐高溫的特點，在陶瓷材料中其綜合力學性能非常好，耐熱震性能、抗氧化性能、耐磨損性能、耐蝕性能好，是熱機部件用陶瓷的材料。在機械工業，氮化硅陶瓷用作軸承滾珠、滾柱、滾球座圈、工模具、新型陶瓷刀具、泵柱塞、心軸 密封材料等。在化學工業，氮化硅陶瓷用作耐磨、耐蝕部件。如球閥、泵體、燃燒汽化器、過濾器等。在治金工業，由于氮化硅陶瓷耐高溫，摩擦系數小，具有自潤滑性。對多數金屬、合金溶液穩定，因此，可制作金屬材料。
