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據悉，近日捷佳偉創發文稱，常州捷佳創精密機械有限公司國內首臺自主研發的電子級硅芯清洗設備目前已經成功下線，將于近日部署至某合作客戶處。
據了解，此款硅芯清洗設備是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蝕清洗設備，用于清洗硅芯表面有機物、氧化物和金屬離子，采用堿洗、酸洗、超聲、機能水等工藝，產品可用于高純光伏硅片和半導體硅片的生產制程，lsbguqlsfr清洗后總表金屬≤0.2ppbm。
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根據資料得知，電子級硅芯硅料清洗設備市場份額都被外國廠商占有，而捷佳偉創宣稱，目前已實現表金屬 0.5ppbw 以上等級的電子級硅料批量出貨，2024第一季度將推出 0.1ppbw 以下的產品。
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