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Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 推出氣密離子源型號

作者:伯東企業(上海)有限公司 來源:hakuto 發布時間:2023-10-11 瀏覽:20
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 推出氣密離子源型號

德國 Pfeiffer  PrismaPro 推出氣密離子源型號
上海伯東德國 Pfeiffer  PrismaPro 推出氣密離子源型號, 適合與進氣系統組合使用, 并具有低氣體消耗和高信噪比的特點.  PrismaPro 模塊化設計滿足多種應用: 例如工業 ( 冷凍干燥 )和分析儀器, 研發, 半導體生產和真空鍍膜技術等.
Pfeiffer 普發殘余氣體分析儀 PrismaPro


Pfeiffer  PrismaPro 技術參數:

型號

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極桿直徑/長度

6 / 125 mm

最小檢測極限 F hPa *1,2

4X10-13

5X10-13

7X10-13

-

-

-

最小檢測極限 M hPa *1,2

-

-

-

3X10-15

4X10-15

5X10-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*3

5X10-4

4X10-4

3X10-4

5X10-4

4X10-4

3X10-4

最 大工作壓力 F hPa

5X10-4

最 大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10-5

5X10-5

5X10-5

對臨近質量數的影響*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

重量

2.5 kg

3.2 kg

* 1  開放式離子源
* 2  停留時間 4秒
* 3   與 C-SEM 相比, 具有較高的靈敏度

若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:

上海伯東: 羅女士                            臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108           T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                       F: +886-03-567-0049
M: +86 152-0195-1076                      M: +886-939-653-958

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