應用電阻應變片為敏感元件制成各種螺旋風管電阻應變式傳感器（如測力、稱重、位移、加速度及扭矩傳感器），其具有精度高、穩定性好、制作簡單、價格便宜，以及電信號易與后續測控儀器相匹配等特點，工業各部門中廣泛獲應用，力學量傳感器中，電阻應變式傳感器至今仍占有主導位。，一般電阻應變式傳感器都是適用于室溫（常溫）環境，使用溫度范圍為 -20~+60 ° C 或 -40~+80 ° C ，對此溫度范圍以上或以下溫度范圍柴油發電機組 傳感器，國內外研究和公開資料很多，而低溫電阻應變式傳感器資料則更少。 按有關電阻應變片標準規定，所謂接線端子低溫環境是指 -30~-160 ° C ，而極低溫（或深低溫）是指 -162 ° C （液化天然氣 LNG ）至液氦（ Lhe ）所能達到溫度，本文所涉及低溫就是上述極低溫或深低溫范圍。有以下四個方面，供應乙二醇 此范圍內新興產品部門包括： (1) 超導應用技術：發電、輸電系統，磁懸浮列車等； (2) 液氫（ LH 2 ， -253 ° C ）相關技術：氫能系統、液氫發動機等； (3) 原子能：托克馬克裝置； (4) 液化天然氣應用技術：新能源系統、冷凍部門應用等。 低溫技術實用化，冷拔管必然會引起人們對環境條件下結構安全、可靠性以及經濟性等問題注意。供應二乙二醇 必要測量結構及部件低溫下應力外，還需要各種適用于低溫環境條件下電阻應變式傳感器（如低溫引伸計和低溫應力傳感器等），測定各種結構部件材料低溫下力學性能，以及監測應用過程中各種壓力變化等，為產品結構質量和設備運行安全提供可靠保證。 低溫環境特殊性，一般市售電阻應變式電腦剝線機傳感器都不適用于低溫環境，加之低溫傳感器用量又特別少，工作中必須實際需要環境和條件，自行進行研制設計各種電阻應變式傳感器。本文主要介紹研制設計各種低溫電動平車電阻應變式傳感器時應注意幾個問題，以供參考。 二、制作低溫電阻應變式傳感器應注意若干問題 低溫電阻應變式傳感器基本結構形式與同類常溫用電阻應變式傳感器基本相同，選材、應用工藝等方面應低溫應用環境特殊性來加以選擇，通常應注意以下幾個方面。 1 、傳感器彈性體設計和材料選擇 低溫電阻應變式傳感器彈性體設計準則干粉砂漿設備基本與各類高溫用電阻應變式傳感器相同。傳感器精度要求，使用壽命及輸出靈敏度等，彈性體應變量一般控制 800~1500 m m/m 范圍內。各種典型彈性體結構計算式列于表 1 。 彈性體材料，要求其低溫范圍內，具有良真空袋好彈性，高抗拉強度，高疲勞壽命以及低溫下不發生脆性斷裂等。，一般來說常溫用彈性體材料大都可以選用。但目前，壓力傳感器常選用不銹鋼、鋁合金、鈹青銅及殷鋼等，而引伸計等傳感器可選用鈹青銅、鈦合金等材料。 2 、低溫電阻應變片 低溫應變片是低溫電阻應硬質合金變式傳感器關鍵敏感元件，其性能影響著傳感器各項性能指標。低溫應變片通常是由基底、敏感柵、膠粘劑及覆蓋層等部分組成。各組成元件材料性能又直接影響著低溫應變片基本性能。 表 1 各種典型彈性體結構應變計算公式 ①溫度變化引起熱輸出 電阻應變式傳感器是由膠粘劑粘輸送機貼傳感器彈性體上，當外力作用下，彈性體發生變形時，彈性體變形膠粘劑層傳遞到敏感柵上，引起敏感柵材料電阻發生變化，其電阻變化值與彈性體所受外力之間是呈線性關系，測量電阻變化值即可知彈性體所受外力。 傳感器實際工作狀態，彈性體受到外力，還往往受到環境溫度變化影響，應變片受溫度變化引起虛假輸出通常稱為熱輸出 ( e t ) 。其值與應變片敏感柵材料電阻溫度系數 ( a R ) 、靈敏系數 ( k ) 、線膨脹系數 ( a g ) 、纏繞膜彈性體材料線膨脹系數 ( a m ) 以及溫度變化 ( D t ) 等有關，即： (1) 傳感器來說，通常都要求所用應變旋渦氣泵片熱輸出值小，這樣才能保證精度和穩定性，選擇制作應變片敏感柵材料時，必須使其與彈性體材料線膨脹系數相匹配，即： (2) 上式也是制作各種溫度自補償應變銅門片選材基本關系式。 Kanfman 研究報告 [6] 指出了各種電阻合金低溫下熱輸出，典型結構如圖 1 所示。圖中示出了 Advance （ Cu-Ni 合金）、 Karma 、 Budd 合金、 Nichrome V （ Ni-Cr 及 Ni-Cr 改性合金）、穩定化 Armour D(Fe-Cr-Al 合金 ) 特性，從室溫至 4.2K(LHe) 范圍，各種敏感元件具有各有不相同溫度特性。 Cu-Ni 合金（康銅、 Advance ）元件應變片低溫下有很大熱輸出。而基底相同時，由 Karma 、 Nichrome V 制成應變片熱輸出則比 Cu-Ni 合金小。由圖可見 10~20K 溫度范圍，各種應變片熱輸出具有最小值。研究表明，鎳鉻改良型合金（如 Karma 等）其電阻溫度系數可以合金組分和熱處理工藝進行調整，便于制成適用于各種不同彈性體材料和溫度自補償應變片，目前低柴油發電機組溫自補償應變片大都是以 Karma 等合金為敏感柵。 ②溫度引起靈敏系數變化 應變片電阻變化率與所受應變量之比，通常稱為應變片靈敏系數 ( k ) 。它數值與應變片敏感元件幾何形狀及材料特性有關。一般金屬電阻材料，常溫時靈敏系數大多約為 2.0 左右。低溫環境下，靈敏系數溫度降低而增加，各種電阻合金典型性能如圖 2 所示。從圖可見，大多數電阻合金經受拉伸或壓縮時，其靈敏系數是有些差別。而穩定化 ArmourD （ Fe-Cr-Ai 合金）則差別更大。拉伸和壓縮時，靈敏系數不一致，會降低傳感器輸出靈敏度，還會增大傳感器非線性誤差。，應變測量場合制作低溫用電阻應變式傳感器，都宜選用拉伸或壓縮應變時靈敏系數相差小材料。圖中可見，Karma 、 Nichrome V 及 Advance 材料，拉伸和壓縮變形之間靈敏系數相差比較小。 電阻合金元件靈敏系數變化，冷卻器若以室溫為基準，則其高溫區和低溫區變化如圖 3 所示。從圖中可見， Ni-Cr 系合金（如 Karma 、 SK 等）和 Cu-Ni 合金（如 Constantan/Advance ）制成應變片，其靈敏系數隨溫度變化規律恰恰相反。 Ni-Cr 系合金，溫度降低，其靈敏系數隨之升高，而 Cu-Ni 系合金低溫下，溫度降低，其靈敏系數也隨之降低。其拉伸和壓縮時兩者靈敏系數之差比 Ni-Cr 系合金大 室溫至 4.2K 溫度范圍內， Ni-Cr 系合金制成應減速機變片靈敏系數特性如圖 4 所示。從圖中可見， Ni-Cr 系合金（ KFL- 、 SK ）從室溫至 200K 其變化率幾乎呈直線增加，然后緩慢增加， 100K 以下溫度時幾乎不增加。 ③磁場對應變片性能影響 綜上所述，低溫電阻應變式傳感器宜選用 Ni-Cr 系合金制成應變片，其原： (1)Ni-Cr 系合金（如 Karma 等）制成應變片，其溫度變化引起熱輸出，可以調整合金組分和熱處理工藝來改變其電阻溫度系數 ( a R ) ，并與傳蓄電池感器彈性體材料線膨脹系數 ( a m ) 相匹配，制成溫度自補償應變片，應變片受拉伸和壓縮變形時，兩者靈敏系數相差小，傳感器受溫度變化影響也小，有利于提高傳感器低溫環境下穩定性； (2)Cu-Ni 系合金靈敏系數隨溫度降低而降低，而 Ni-Cr 系合金靈敏系數則溫度降低而升高。這種傾向與傳感器彈性體材料彈性模量 ( E ) 隨溫度降低而升高趨向是一致，有利于傳感器靈敏度 ( 量程 ) 補償。另外， Ni-Cr 系合金制作應變片靈敏系數，室溫至 200K 時，呈線性增加，全自動洗車機而后則緩慢增加， 100K 以下時，其變化則相當小。由此制成傳感器，其輸出靈敏度變化也是呈如此規律。標定溫度對靈敏度變化影響時，標定室溫至 100K 范圍內變化，而 100K 以下則可認為是不變，即可 100K 時靈敏度表示該傳感器 100K 以下時靈敏度； (3) 磁場對 Pt-W 合金影響，比對 Ni-Cr 系合金影響小多，但價格昂貴和溫度特性差而不宜用作一般傳感器。而 Karma 合金應變片，磁場強度 1t 以下液壓缸時呈負輸出，爾后，隨磁場增加而呈正線性變化。傳感器標定可以保證一定精度范圍。 3 、低溫膠粘劑和防護劑 膠粘劑和防護劑對低溫電阻應變式傳感器性能有直接關系。特別是膠粘劑，它對傳感器尤為重要。大量試驗證明： (1) 低溫應變片基底材料，一般都采用聚酰亞胺膜是以玻璃纖維增強環氧 - 酚醛膠膜為宜，這些材料低溫下收縮率小，柔性好，與膠粘劑之間粘合效果也好。 (2) 粘貼應變片膠粘劑一般都采用熱固性型膠粘劑如聚酰亞胺、改性環氧 - 酚醛膠。這類膠粘劑貼片后，經加壓回熱固化及后固化處理后，膠層具有很高粘結強度，電絕緣性能好，傳感器蠕變、滯后及零漂小，傳感器穩定性也好。 (3) 低溫下防護劑對提高傳感器穩定性有極重要作用。油罐車運輸傳感器應用場合，彈性體表面應變片溫度由室溫逐漸致冷介質注入而降低。彈性體冷卻過程中，將空氣中微量水分吸附彈性體表面，形成白霜。當傳感器經受周期性溫度變化時，應變片表面白霜熔化成水分，使應變片、膠粘劑吸收水分而使絕緣電阻發生變化（降低），引起傳感器零漂，蠕變、滯后增大，嚴重時會使傳感器失效。 另外，當粘貼傳感器彈性體表面應變片浸泡低溫介質內時，流過應變片內部電流應變片內產生焦耳熱，當它與低溫介質接觸時，應變片與介質之間產生激烈熱交換，這種不斷熱交換也會造成傳感器零漂或不穩定，如圖 6 所示。可以看出，當應變片未加防護劑（涂層）時，室溫至 -50 ° C 范圍內，熱輸出重復性很差（圖中虛線所示）。但經施加防護涂層后，應變片穩定性則有了很大提高。 深低溫下防護劑一般不宜采用室溫下常用防護劑，這是某些腦循環zl機室溫防護劑其硬度會隨溫度降低而增加，形成一定加jx應，低溫下也易發生脆裂等現象，，傳感器用應變片防護劑，一般可采用粘貼應變片貼片膠如改性環氧 - 酚醛膠， PPS 膠（聚苯硫醚）等，應變片表面上均勻涂上一薄層，經固化后再涂一、二次，然后最終固化處理，然后其表面均勻涂上一層硅脂，這樣就可保證其性能穩定了。 其調整和補償工作比較簡單；但變溫環境條件下使用傳感器其補償技術要求相對要高和嚴格多。 電阻應變式傳感器中，室溫環境條件下使用測力、求購廢乙二醇稱重傳感器，性能補償方面技術是最成熟，各種補償和調整后測力、稱重傳感器可以具有非常高精度，大都可達 0.02~0.03%F.S 左右。低溫電阻應變式傳感器，測力、稱重傳感器所有調整、補償技術都可采用，其具體實施方法也相似。，應變片低溫下性能與常溫環境有很大差別，具體補償處理時必須經試驗進行確定。 由前述可知， Ni-Cr 系合金電阻溫度系數 ( a R ) 可以調整合金成分和熱處理工藝來加以調節 ，可制作適用于不同彈性體材料溫度自補償應變片，減小傳感器溫度影響，提高傳感器性能指標。， Ni-Cr 系合金低溫環境下 (10~20K) 其熱輸出出現逆轉現象，即謂近藤效應（如圖 7 ）。 由圖可見， KFL 型應變片（ Ni-Cr 系合金，聚酰亞胺基底） 200K 附近，其熱輸出為零，此以下溫度時，呈現負輸出。 WK 型應變片（玻璃纖維增強環氧 - 酚醛基底， Ni-Cr 系合金）， 10~20K 左右熱輸出為最小值，其后由負變為正輸出， 4.2K 時有正{zd0}熱輸出。 Ni-Cr 系合金 10~20K 溫度區間，這種逆轉變化，給傳感器零點溫漂補償帶來一定困難，減小這種影響，選供應乙二醇 用應變片時應盡量選用具有溫度自補償。同一批應變片，有條件時可對應變片溫度特性進行預選，以提高橋路補償效果。 三、低溫電阻應變式傳感器性能試驗裝置 低溫電阻應變式傳感器各項性能參數必須低溫環境下進行測定，如何獲低溫環境和保持低溫環境這是試驗工作重要環節。 1 、低溫環境條件獲 低溫試驗時，絕大多數情況下，是應用各種護欄致冷劑來達到預定試驗溫度，當要求溫度介于兩種冷劑溫度之間時，可選用較低溫度冷劑，以噴淋或輻射形式來獲取所需溫度，具體方法應試驗要求來確定。至于貯存冷劑容器常采用金屬杜瓦瓶或玻璃杜瓦容器。目前常用冷劑及其可達到溫度列于表 2 。 2 、低溫壓力傳感器性能試驗測量系統 研究電阻應變式壓力傳感器低溫下 (77~300K) 性能參數，典型試驗裝置及測試系統如圖 8 所示，整個裝置由四個部分組成。 ①真空系統。實驗溫區較寬，要求壓力腔及傳感器處于較高真空環境中（ 1.3 ′ 10 -2 Pa 以上），有熱偶真空規和電離真空管，隨時監視真空罩內真空度。 ②壓力源及測壓系統。該系統由高壓氮氫瓶、減壓閥、標準壓力表、低溫壓力腔、放氣閥及連接管道等組成。 ③溫度測量和控制系統。低溫壓力腔及傳感器溫度由銅 - 康銅熱電偶測定。壓力腔及傳感器溫度系統由鉑電阻溫度計、加熱器及低溫控溫儀等組成。 ④壓力傳感器信號變換及顯示系統。該系統由電阻應變式壓力傳感器、動態電阻應變儀和數字電壓表等組成。 3 、低溫引伸計試驗測試系統 為標定引伸計低溫下 (4.2~300K) 性能，其典型試驗裝置如圖 9 所示。該系統試驗溫度要按使用條件分階段進行（如 300K 、 77K 、 20K 、 4.2K 等），該系統主要包括： ①標定機構。校準器采用zg校準引伸計用螺旋千分尺，引伸桿置于低溫杜瓦中，其上可安裝被校引伸計。 ②低溫介質容器。盛置低溫介質容器是由內外兩個玻璃杜瓦組成。內杜瓦與上法蘭盤之間用不銹鋼連接內罩相連，內杜瓦連接罩間由二道真空橡皮密封。內外杜瓦及標定機構重量是由外框架承擔。 ③溫控系統。調節試驗溫度，裝置引伸計刀口兩側裝有變溫加熱器，其功率約為 0.3W 。下加熱器是為調節上部空間溫度及烘干液氦之用，它位于標定機構下端，功率為 0.35W 。測溫元件可采用金 - 鐵熱電偶或鉑電阻溫度計。 ④位移測量系統。引伸計變形測量是由動態電阻應變儀和 x-y 記錄儀組成。 一般市售各種電阻應變式傳感器，只能適用于常溫環境（ -20 ° C~+60 ° C 或 -40 ° C~+80 ° C ），高溫或低溫環境下使用各種電阻應變式傳感器，往往需要自行進行設計制作。本文主要介紹電阻應變片低溫下特殊性能，設計人員能更好利用其特點，制作各種性能好傳感器，目前低溫下常用電阻應變式傳感器主壓力和位移等傳感器，確認各種傳感器低溫下性能，文中也簡要介紹了低溫下壓力和位移傳感器標定系統，以供有關人員參考。