品名：三維表面測(cè)量?jī)x 3D表面測(cè)量三維表面輪廓儀 便攜式3D表面測(cè)量?jī)x
產(chǎn)地:法國(guó)
品牌:PhaseView
測(cè)量能力：
3D表面形貌 表面輪廓 粗糙度&波紋 臺(tái)層高度
應(yīng)用范圍：
膜層太陽(yáng)能硅片紙張高分子材料砂輪橡膠 金屬 探針劃痕 焊點(diǎn)
基本指標(biāo)：
Z軸范圍{zd0}至1mm
重復(fù)性10nm
測(cè)量范圍{zd0}至100×100mm
簡(jiǎn)介：
MicroPhase是與常規(guī)顯微鏡連接使用的便攜式3D表面測(cè)量?jī)x。即在原有顯微鏡的基礎(chǔ)上直接增加3D表面的測(cè)量和分析功能，而無(wú)需其他光學(xué)或機(jī)電附件，是非常靈活和實(shí)惠的選擇。連接的顯微鏡要求帶有標(biāo)準(zhǔn)C-mount接口。
MicroPhase 指標(biāo)參數(shù)表：
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物鏡
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5X
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10X
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20X
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50X
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100X
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工作距離，mm
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23.5
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17.5
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4.5
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1
|
1
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數(shù)值孔徑
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0.15
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0.3
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0.45
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0.8
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0.9
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測(cè)量范圍(X,Y)，mm2
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1.3 x 1.0
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0.66 x 0.53
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0.33 x 0.27
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0.13 x 0.10
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0.065 x 0.05
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水平分辨率(X,Y)，um
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2.8
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1.4
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0.9
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0.5
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0.4
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GetPhase(GP)/
GetPhase Extended(GPE)
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GP
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GPE
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GP
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GPE
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GP
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GPE
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GP
|
GPE
|
GP
|
GPE
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{zd0}角度，degrees
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8
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89
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16
|
89
|
24
|
88
|
38
|
84
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42
|
78
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垂直范圍(Z)，um
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35
|
1000
|
9
|
250
|
4
|
62.5
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1.1
|
10
|
0.8
|
2.5
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垂直分辨率(Z)，um
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0.35
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6.9
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0.09
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1.7
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0.04
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0.7
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0.011
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0.2
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0.008
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0.17
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測(cè)量采集點(diǎn)
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1.3M (1280 x 1024 pixels)
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測(cè)量時(shí)間，sec
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＜10
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粗糙度范圍Ra，um
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＞0.01 to 3
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機(jī)械件接口
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標(biāo)準(zhǔn)C-mount視頻接口
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L x W x H，mm
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120 x 74 x 173
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重量，kg
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2.5
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