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抽氣速率 (L/S) :70~5000 L/S 升/秒 極限壓強 (Pa) :100~300 Pa帕 極限壓強 (Torr) : 20000~80000 Torr托 環境溫度 (℃) :≤40℃ 度 介質溫度 (℃) :0℃~+180℃ 度 液體價質: 空氣 蒸水 有毒氣體