長安凈化工程包括,無塵室,潔凈室,凈化車間,無塵車間等的裝修,設計和施工!施工方面又包括了天花,地板,墻體,空調通風和凈化設備安裝等,歡迎新老客戶前來洽談與合作!
長安凈化工程中空氣潔凈度所要控制的對象空氣潔凈度主要控制兩個對象:一是可能造成損害的空氣中最小微粒直徑:二是可能造成損害的空氣中的微粒數量。
1 控制的最小粒徑:過去,首先由于精密機械的需要,主要從機械的角度——堵塞、磨損等方面考慮可能損害產品的最小微粒直徑.即該直徑應小于產品上的某種幾何距離——元件之間的公差、可隙、線距、線寬等等。但是又估計到,小微粒能凝集成大微粒,或者幾十小微粒同時落到產品的敷命處,因此,通常把這種幾何距離的一半至1,3定為控制的最小粒徑。由于進類幾何距離可以小到約lum,所以0.5um這一粒徑長期以來成為空氣潔凈技術上要控制的最小粒徑。除此以外.還因為:在用白熾燈作光源的散射光式粒子計數器測定時,只有0.3um以上的微粒處于適于光散射的區域;但是儀器對0.3um這~檔又比0.5um采樣效率低,這就限制丁粒徑控制下限,一般只取到0.5um。但是.由于集成電路的發展,
長安凈化工程對最小微粒直徑提出丁更高的要求。一方面因為集成電路上某種幾何距離更小丁:某一潦層或掩膜的厚度只有十分之幾甚至百分之幾微米.元件上導電線條的間距或元件與元件之聞的金屬聯線的寬度(稱為基本圖形尺寸)或特征尺寸在超大規模集成電路剮出現時已選到1pm,現在已減少到0.18pm了。另一方而,因為不僅需要從機械的角度更需要從物理化學的角度來確定最小粒釋.一顆塵粒即使是在某個幾何距離例如某一涂層厚度之內.也可能形成針孔和雜質源面破壞產品的性能。所以最小微粒直徑進一步要求控制在基本圖形尺寸的3/1--10/1之間,下限更底了。
2 控制的微粒數量
各種工藝需要控制的微粒(≥控制粒徑)數量不同,但若以這些數量來制訂
長安凈化工程潔凈度標準必然很復雜。蜘如一種工藝不允許每引空氣中有這種微粒110個,另一抻工藝則不允許有130但這兩種情況所采用的空氣凈化手段差別又很小,這樣就投有必要定出兩個不同的級別。因此.制訂空氣潔凈度標準(級別)所用的控制微粒數,宜按以下原則畫出幾個范圍:
(1)為現有措施所能達到。(2)在經濟上能明顯區別。(3)在使用上比較方便