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RTP快速退火爐
RTP快速退火爐

RTP快速退火爐

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汪紀彬(銷售經理)
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鄭州成越科學儀器有限公司
037155199322
鄭州市高新技術開發區翠竹街6號9幢820號
cyky@cykeyi.com
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鄭州成越科學儀器有限公司

鄭州成越科學儀器有限公司位于鄭州高新技術開發區863軟件園內,是一家專業從事材料制備設備和材料制備原料代理的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設備、熒光粉燒結設備、氧化鋯生物陶瓷燒結、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結、稀有金屬的區域提純等研究發展方向,立志做先進材料制備技術及設備和原料的提供商。
        鄭州成越科學儀器有限公司的“研發團隊”憑借自身在熱處理技術方面的專業知識和豐富的實踐經驗,先后研發出了多款先進材料制備設備。主要產品有:微波燒結爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應爐、氧化鋯燒結爐、熒光粉燒結爐、晶體退火爐、電池材料燒結爐、旋轉管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;其他的產品還有:等離子清洗機、真空手套箱、真空干燥箱、環境模擬測試柜、行星球磨機、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。
       鄭州成越科學儀器有限公司  近年來,在社會各界的關心支持下,公司不斷發展壯大,與國內外多所高校和科研單位建立起了合作關系;公司還聘請了多位國內外重點高校的教授,博導為公司常年的技術顧問,他們時刻與國內外學術界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導產品的生產和研發,使我公司的產品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關的新產品。產品遠銷歐美、日韓等國家,并在國內外市場獲得業界一致好評。
       如果您正在被國貨的產品質量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業的技術團隊為您量身定做!如果您正在為故障設備的售后無人理會而發愁,選擇我們一切的問題將由我們負責到底。

                                                           歡迎來到成越科學儀器,我們有國內最敬業的工程師團隊竭誠為您服務!


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TP快速退火爐由我公司自主研發。采用國際先進制造工藝,造型新穎結構合理,安全可靠,目前已被各種試樣實驗多次驗證,并已廣泛用于半導體器件研發及生產等領域,該系統可滿足離子注入后的快速退火,也可用于歐姆接觸快速合金,還可用于硅化物合金退火,氧化物生長,以及銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。

主要技術參數

規格型號

CY-R1100-A

穩定狀態溫度范圍

100~1000℃

溫度測量精度

±0.2℃

溫度控制重復性

±1℃

溫度控制jq度

±1℃

溫場均勻性

±2℃

最快升溫速率

500℃/S

降溫速率

1~200℃/S(通氮氣,速率更快)

溫度控制模式

智能模糊PID控制

操控系統

CY-101溫控系統

擴充端口

可擴充真空測控和FFC供氣系統

熱電偶校準狀態檢測

軟件校準,方便準確,軟件分析傳感器狀態是否正常

超高溫狀態檢測

軟件檢測出溫度信息出現高溫異常時,切斷主回路

顯示模式

LCD觸摸屏

設計功率

15KW

額定電壓

AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

傳感器類型

S型熱電偶

反應腔室內徑尺寸

Φ100X200

式樣有效空間

3.5"

真空度

4.3X10E-3Pa(需要另外外配分子泵)

抽氣端口尺寸

KF16(或Φ8mm寶塔嘴)

供氣口尺寸

Φ6.35mm雙卡套

冷卻方式

自然冷卻或強迫風冷

 

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