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自動配酸混酸供酸系統

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該系統為化學品藥液混酸及供應系統，目的是提高化學品的利用率。

1、過濾后的化學品輸送到清液tank A或tank B，A 、B tank 有高液位傳感器，其中一個滿時會切換到另一個。

2、混酸tank C 安裝有稱重模塊，在線顯示tank內液體的量，在人機界面先設定需要的氫氟酸濃度，啟動泵A往混酸tank C輸送清液，然后泵B會啟動循環，濃度計會計算出清液的濃度，根據事先設定的氫氟酸濃度，PLC會計算出需要的高濃度氫氟酸量，啟動泵D往混酸tank C輸送已知高濃度氫氟酸。

3、混酸tank C 循環到目標值后，輸送到tank E或tank F，同樣有高液位傳感器相互切換。

4、混酸tank D的流程跟混酸tank C 同樣，兩臺同時混可以提{gx}率。

5、當蝕刻機臺需酸時，啟動要酸按鈕，氣動閥打開，泵啟動，往槽內輸送酸，蝕刻槽有液位傳感器，到高液位會自動停止，供酸結束。

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