便攜式 ASM 310
上海伯東銷售維修德國 Pfeiffer 便攜式 ASM 310 設計緊湊, 重量僅 21kg, 占用空間小, 前級泵清潔無油, 通用電壓, 滿足無污染工藝要求. 便攜式 ASM 310 是目前市場上同類型檢漏儀中輕便緊湊的產品!
便攜式 ASM 310 特性：
1. 集成無油真空系統: 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 +
2. 支持真空或吸槍檢漏模式, 重量僅 21 Kg
3. 氦氣抽速 1.1l/s, 進氣口壓力 15 hPa
4. 豐富的可選配件: 吸槍, 遙控器, 小推車, 標準漏孔等, 兼容 RC 10 遙控器
5. 帶有可伸縮手柄的靈巧設計
6. 可以在任意位置操作: 水平或垂直, 較低的維護
7. USB 接口, 方便數據傳輸,
8. 帶有圖像功能的大屏幕高亮度彩色觸摸屏, 10種語言可選
便攜式 ASM 310 技術參數：
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便攜式
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ASM 310
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對氦氣的最小檢測漏率
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真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式 1E-8 Pa m3/s
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檢測模式
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真空模式和吸槍模式
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無油前級泵抽速
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1.7m3/h
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檢測氣體
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4He , 3He, H2
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響應時間
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<1s
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對氦氣的抽氣速度
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1.1 l/s
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進氣法蘭
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DN 25 ISO-KF
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進氣口壓力
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15 hPa
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通訊接口
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RS-232
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工作溫度
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10-40 °C
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噪音水平
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< 45 dB (A)
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Interface
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RS-232, I/O, USB
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電壓
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90-240 V AC, 50/60 Hz, 通用電壓
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功耗
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300 VA
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啟動時間
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< 2 min
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尺寸
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350 X 254 X 415 mm
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重量
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21 kg
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便攜式 ASM 310 尺寸：
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便攜式 ASM 310 常用配件:
Pfeiffer 便攜式 ASM 310 應用：
1. 半導體, 鍍膜, 太陽能
2. 分析儀器, 科研, 加速器質譜
3. 工業, 電廠, 化工
4. 系統集成
上海伯東檢漏儀客戶案例
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半導體用光刻機檢漏, 整機真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用負壓法檢漏. 漏率設置 5x10-11pa m3/s.
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內部集成紅外探測器的 2m3 杜瓦封裝器件, 應用于火星探測項目, 杜瓦封裝器件采用真空模式檢漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.
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超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 為保證較高的真空度, 需要對整個真空系統的焊縫, 法蘭口等懷疑有漏的地方進行泄漏檢測. 為保證實驗腔體的清潔干燥, 選擇前級泵為干泵的氦質譜檢漏儀
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