移動型 ASM 390, ASM 392
上海伯東代理德國普發 Pfeiffer 移動型 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是針對大型部件設計研發, 配有干式非接觸式前級真空泵和渦輪分子泵, ASM 392 內置2臺渦輪分子泵, 可以加速檢漏流程, 降低生產設備的停機時間, ASM 390, ASM 392 對氦氣的快速抽空能力和較短的響應時間使其成為同類型中的佼佼者！
ASM 390, ASM 392 優勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需工具即可旋轉和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 通過 CE 認證, ETL 認證, UL61010 合規, 符合 Semi S2 標準
6. 可用于半導體相關行業和平板顯示器行業以及其他要求嚴苛的應用
上海伯東 Pfeiffer 移動型氦質譜 ASM 390, ASM 392 與 ASM 380 技術參數對比:
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型號
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ASM 390
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ASM 392
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ASM 380 已停產
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檢測氣體
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4He, 3He, H2
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最小檢測漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸槍模式: 1X10-8 mbar l/s
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對氦氣的抽速
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10 l/s
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25 l/s, 內置2臺分子泵
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7 l/s
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前級泵抽速
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35 m3/h
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進氣口Max壓力
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20 mbar
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20 mbar
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15 mbar
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無校準的啟動時間(20°C)
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2 min
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2 min
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< 4.5 min
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進氣口
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DN 40 ISO-KF
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響應時間
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< 1 s
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Interface, 選配
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RS-232, I/O, Ethernet
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噪音
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≤ 55 dB (A)
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≤ 55 dB (A)
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53 dB (A)
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重量
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125 kg
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130 kg
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110 kg
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尺寸(LxWxH)
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1072 x 455 x 1025 mm
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1072 x 455 x 1025 mm
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1065 X 455 X 1025 mm
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移動型 ASM 390 應用案例
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激光器零件檢漏
應用于航天領域的激光器零件檢漏, 中空夾層設計, 僅在兩端焊接密封, 真空模式下, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
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氦質譜檢漏儀減壓器檢漏
減壓器主要用于半導體管路中氣體減壓, 調節氣體壓力, 減壓器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S
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氦質譜檢漏儀半導體用配管配件檢漏
定制不銹鋼管, 配件和歧管廣泛應用于半導體廠務端, 用于輸送高壓氧氣, 氫氣等. 客戶從現場量測管路, 然后對不同管路的口徑進行焊接, 產品漏率值需要達到 <1E-9mar l/s
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氦質譜檢漏儀熱交換器檢漏
對應用于工業的體積 >1000L 的熱交換器進行檢漏, 真空模式下, 漏率要求 1x10-6 mbar l/s.
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結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 伯東 Pfeiffer 提供完整的產品線, 從便攜式氦質譜到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點. 滿足單機檢漏, 也可集成在系統或 PLC.
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