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低溫等離子體去除污染物的機理：
    等離子體化學反應(yīng)過程中，等離子體傳遞化學能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下 

 (1) 電場＋電子→高能電子
    (2) 高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
    (3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
    (4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱 

過程一：高能電子直接轟擊  

過程二：產(chǎn)生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片 

 O2  +  2e  →  2O· 

 O2   +  O·  →  O3  +  e 

H2O  +  2e → H·  +  HO·  

H2O  +  O·+  e →  2HO· 

H· +  O2  →  HO·  +  O 

C(a+b)H(m+n)O(x+y) + 2 e → CaHmOx ·+ CbHnOy· 

過程三：分子碎片氧化  

CaHmOx  + HO·→ CO2 + H2O 

CaHmOx  + O·→ CO2 + H2O 

CaHmOx  + O2→ CO2 + H2O 

CaHmOx  + O3→ CO2 + H2O 

經(jīng)過低溫等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質(zhì)及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量。相關(guān)反應(yīng)機理如下： 

H2O  +  e → H·  +  HO· +  e 

H·  +  O3 → O2  +  HO·  

HO·  +  O3 → HO2·  +  O2 

HO2·  +  O3 → HO·  +  O2 

因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。 

     從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應(yīng)中起著重要的作用。
     低溫等離子體去除污染物的原理：
     低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應(yīng)，使復雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成md無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應(yīng)條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應(yīng)變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領(lǐng)域中的一項具有極強潛在優(yōu)勢的高新技術(shù)，等離子體受到了國內(nèi)外相關(guān)學科界的高度關(guān)注。