礦熱爐氣體在線分析系統(tǒng)
多晶硅尾氣各主要成分的體積分?jǐn)?shù)分別為，HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。多晶硅尾氣均為可回收的產(chǎn)品或可循環(huán)使用的原料。對尾氣進(jìn)行有效的治理，不僅可以提高原料的利用率，還可以降低三廢的排放量。為了合理治理尾氣，必須根據(jù)尾氣的特性、成分、壓力等，選擇適當(dāng)?shù)墓に嚵鞒毯图夹g(shù)條件。 
多晶硅過程氣體分析系統(tǒng)可連續(xù)監(jiān)測工業(yè)硅提純的三氯氫硅氫還原工藝中氫氣的氧含量和微水含量以及在尾氣管道保護(hù)氣氮氣的氧含量和微水含量，從而保證{zh1}提煉超純硅的品質(zhì)。
采用變壓吸附工藝，一次性去除所有雜質(zhì)，確保分析效果準(zhǔn)確性。預(yù)處理單元中利用吸附劑吸附雜質(zhì)組分的能力遠(yuǎn)強于吸附氫氣能力，可以將混合氣體中的氫氣提純。本系統(tǒng)根據(jù)我國多晶硅生產(chǎn)線中高塵、高腐蝕的惡劣工況條件。
系統(tǒng)特點
1. 取樣系統(tǒng)為可插拔式探頭，方便更換濾芯
2. 過濾器可過粉塵和硅粉，過濾精度為0.1μm
3. 大屏幕現(xiàn)場就地顯示
4. 系統(tǒng)自動標(biāo)定，無須人工校驗；
5. 主機采用純進(jìn)口檢測元件；
6.系統(tǒng)兼容性強大
7.手自動一體，故障自檢；
技術(shù)參數(shù)
1) 型號：TR9700
2) 輸出：4-20 mA、RS232或485
3) 響應(yīng)時間：T90<15s
4) 工作溫度：-20o~ 60o
5) 電源：24 VDC
6) 防護(hù)等級：IP65
7) 系統(tǒng)部件：316L不銹鋼
8) 防爆標(biāo)準(zhǔn)：符合EEx ia IIC T4
微水分析儀：
a. 測量范圍：-100~ 20o
b. 精度： 20~-60o 露點范圍內(nèi)為±1o
c. -60~-100o 露點范圍內(nèi)為±2o
d. 工作壓力： 真空~40 MPa
e. 計量單位：PPmW,℃
f. 防爆標(biāo)準(zhǔn)：非現(xiàn)場顯示型符合EEx ia IIC T4
g. 現(xiàn)場顯示型符合EEXd IIB T4

本系統(tǒng)是根據(jù)各種煤氣項目煤氣熱值分析工況條件專門設(shè)計的，在采用西安聚能儀器有限公司成熟的預(yù)處理技術(shù)和分析控制技術(shù)基礎(chǔ)上而進(jìn)行模塊化針對性設(shè)計的，具有國際{lx1}水平。
本過程氣體分析成套系統(tǒng)（以下簡稱系統(tǒng)）是煤氣項目各測點的煤氣熱值在線監(jiān)測包括分析CO、H2、CH4等分析儀器與預(yù)處理裝置及其附屬的應(yīng)用保障部分（標(biāo)準(zhǔn)氣）；通過針對現(xiàn)場應(yīng)用條件。工藝氣樣條件的系統(tǒng)設(shè)計，所實現(xiàn)的正確匹配與合理組合，使CO、H2、CH4分析儀器能很好適應(yīng)煤氣項目煤氣熱值分析各測點的中的特殊工藝條件。系統(tǒng)能自動、連續(xù)、準(zhǔn)確、可靠地分析各測點的中CO、H2、CH4的含量。系統(tǒng)正常運行期間能同時提供CO、H2、CH4的4~20mA標(biāo)準(zhǔn)輸出信號；并根據(jù)測量組份的含量值輸出超限報警狀態(tài)信號。該系統(tǒng)的分析儀器為傳感器為原裝進(jìn)口。系統(tǒng)技術(shù)方案先進(jìn)、結(jié)構(gòu)簡明、部件性能可靠、自動化程度高、操作簡便、維護(hù)量小、是煤氣熱值監(jiān)測的理想設(shè)備。
本系統(tǒng)主要由取樣單元、氣源凈化單元、輸氣單元、預(yù)處理單元、分析單元、控制單元、標(biāo)定單元組成。可應(yīng)用于煤氣監(jiān)測熱值的各處。系統(tǒng)具有安全可靠、取樣真實、響應(yīng)快、分析精度高、配置和選型{zj0}等諸多特色，系統(tǒng)不僅考慮了適應(yīng)危險環(huán)境場所問題，也考慮了避免系統(tǒng)內(nèi)部的不安全因素的產(chǎn)生。因此是國內(nèi)最為完善的煤氣熱值分析系統(tǒng)。
該系統(tǒng)適用于煤氣生產(chǎn)過程中監(jiān)測熱值的各處，分析CO、H2、CH4等氣體濃度，全天候在線運行。
1.適用工況條件 ：
①煤氣{zd0}含塵量＜200g/NM3
② 煤氣溫度：≤700℃
③ 取樣點壓力： 40kPa左右
④ 含水量：7％VOL左右
2.適用環(huán)境條件：
① 適用于安全場所，儀表房內(nèi)安裝。
② 配置保護(hù)地線（接地電阻＜4Ω）
③ 環(huán)境溫度：＋5～45℃
④ 相對濕度：20～85％
⑤ 大氣壓力：70～106KPa（當(dāng)?shù)卮髿鈮海?br /> 3.公共設(shè)施條件：
① 電源220V±10％，50HZ±1HZ，容量≥5KVA（無強干擾）
② 反吹氣源：氮氣(0.3～0.7MPa)
㈡分析儀器技術(shù)參數(shù)(詳見儀器說明書) （組份由廠家確定）
以JNYQ系列分析儀表為例，選用其它儀器其技術(shù)參數(shù)詳見所選儀器使用說明書。
測量組分 測量方法 量程 分辨率 精度 重復(fù)性誤差
CO 紅外傳感器 75% 0.01% ≤1% ≤1%
CH4 紅外傳感器 25% 0.01% ≤1% ≤1%
H2 熱導(dǎo)傳感器 40% 0.01% ≤2% ≤1%
分析儀具備熱值顯示功能
※ 氣體組分的量程可以根據(jù)客戶要求定制。
氣體流量 0.7～1.2 L/min
樣氣入口壓力 <50KPa
樣氣要求 除水（無冷凝）；粉塵過濾（<1μm）；有些場合可能需要除油霧
響應(yīng)時間 <10秒 (NDIR)
預(yù)熱時間 15分鐘
通訊接口 RS232
模擬輸出 4～20mA
工作溫度 0～50℃
相對濕度 5～85%
大氣壓力 86～108kPa
工作電源 220V±44V 交流 50Hz±1Hz
外形尺寸 433mm×420mm×132mm（寬×長×高）
儀器重量 約12kg
㈢系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
1.系統(tǒng)響應(yīng)時間：≤15s
2.系統(tǒng)煙塵過濾精度：≤0.5μm
3.系統(tǒng)可靠性：MTBF＞3年
4.取樣探頭免維護(hù)，系統(tǒng)維護(hù)周期＞1年
5.具有自動、手動、反吹、校對、試漏功能。
6.輸出信號：4－20MA，控制報警信號NO/NC，1A/220V
㈣系統(tǒng)主要特點
1.過濾原理創(chuàng)新，根本解決焦油堵塞問題。
2.采用自主創(chuàng)新專利技術(shù)，復(fù)合能量反吹清灰，解決煙塵板結(jié)問題。
3.系統(tǒng)具有在線取樣分析功能，響應(yīng)速度快，確保連續(xù)在線分析。
4.系統(tǒng)為全干法過濾，取樣不失真，分析準(zhǔn)確。
5.真正wq無人管理的全自動化系統(tǒng)。
6.熱值直觀顯示，時時觀察熱值變化。

聯(lián) 系 人：李嘉輝 
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