工業用超純水概述
    超純水是水中電解質幾乎全部去除，水中不溶解的膠體物質、微生物、微粒、
有機物、溶解氣體降至很低程度，都是經過膜過濾或混合床等終端精處理的
水。目前，我國電子工業部把工業超純水水質技術分為五個行業標準，分別
為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質。
目前，制備超純水的方法通常采用反滲透，去離子或電去離子（EDI）等工藝。
在水質要求達10MΩ.cm以上，通常采用不同的工藝進行組合搭配的方法來制取，
例如采用反滲透加去離子，反滲透加EDI等。超純水已被廣泛運用于電子、電力
，化工，電鍍，鍋爐補給，實驗室及醫藥等眾多領域。
反滲透設備
    滲透是一種物理現象，當兩種含有不同濃度鹽類的水，如用一張半滲透性的薄膜
分開就會發現，含鹽量少的一邊的水分會透過膜滲到含鹽量高的水中，而所含的
鹽分并不滲透，這樣，逐漸把兩邊的含鹽濃度融和到均等為止。這個過程稱為自
然滲透。反滲透就是一種在壓力驅動下，借助于半透膜的選擇截留作用將溶液中
的溶質與溶劑分開的分離方法。

去離子設備
　　離子交換系統是通過陰、陽離子交換樹脂對水中的各種陰、陽離子進行置換的一
種傳統水處理工藝，陰、陽離子交換樹脂按不同比例進行搭配可組成離子交換陽床系
統，離子交換陰床系統及離子交換混床（復床）系統，而混床（復床）系統又通常是
用在反滲透等水處理工藝之后用來制取超純水，高純水的終端工藝，他是目前用來制
備超純水、高純水不可替代的手段之一。其出水電導率可低于1uS/cm以下，出水電阻
率達到1MΩ.cm以上，根據不同的水質及使用要求，出水電阻率可控制在1~18MΩ.cm之
間。被廣泛應用在電子、電力超純水，化工，電鍍超純水，鍋爐補給水及醫藥用超純
水等工業超純水，高純水的制備上。
 
電去離子（EDI）設備
　　電去離子（Electrodeionization）簡稱EDI，是一種將離子交換技術，離子交換膜
技術和離子電遷移技術相結合的純水制造技術。屬高科技綠色環保技術。EDI凈水設備
具有連續出水、無需酸堿再生和無人值守等優點，已在制備純水的系統中逐步代替混床
作為精處理設備使用。這種先進技術的環保特性好，操作使用簡便，愈來愈多地被人們
所認可，也愈來愈多廣泛地在醫藥、電子、電力、化工等行業得到推廣。