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主要特性與技術指標
電流-電壓測量功能
0.1 fA – 1 A 和 0.5 μV – 200 V 精準測量范圍
點測量和掃描測量功能
脈沖點測量和掃描測量,最小脈寬達 500 μs
ASU(自動傳感和關單元)可以與 HRSMU 配合使用,提供 0.1 fA 的測量分辨率和 SMU/AUX 路徑切換
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多種測量模式,實現快速設置和測量執行(應用測試、典型測試和快速測試)
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