一、直流脈沖產品套件
AE 的脈沖產品系列具有各種功能,能夠滿足您所有的困難和各式各樣的工藝要求。這個靈活的直流脈沖附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可變頻率。這個系列的每一項產品在設計上均具有相當的特點。
二、ASCENT AP(先進脈沖)電源
2013年,AE 通過采用雙極性脈沖直流技術為雙極磁控濺射帶來了新的技術革新,提供了前所未有的等離子體控制技術。Ascent AP電源在緊湊的單/雙極磁控濺射方案中引入了額外的控制參數,使得功率輸出更加優化。Ascent AP具有專利的脈沖技術,可以主動抑制電弧,其廣泛的工作范圍使得該電源可以應用于許多材料,拓展了制程的靈活性以及材料的不斷創新。
三、擁有Arc Management System 技術的 Ascent 直流電源
強大的 Ascent 直流電源專門用于易產生電弧的工藝制程,它可以提供穩定功率,以獲得可重復的高質量薄膜。嚴格的質量控制過程確??蛇_到{zg}可靠性。Effective Arc Management System 功能可以熄滅電弧,防止不必要的薄膜損壞或制程中斷。同時 Set Point Compensation 技術可以平衡設定點與濺射率,即使在電弧非常頻繁的情況下也能做到這一點。Ascent 電源配備了多種用戶界面和虛擬前面板軟件,易于設置和操作。您可以選擇主/從裝置,或利用 Arc-Sync 技術以多個相鄰的陰極調節電源。不管您的配置如何,均可使用 Ascent 電源獲得穩定、可重復的電源。
四、Pinnacle 系列
業界公認的 Pinnacle 直流電源平臺具有{jj1}的工藝一致性和控制功能,從而大大減少了工藝變化,提高了產量。這個緊湊、功能強大的套件提供了業界{zd1}的存儲能量以及最廣的全功率運行阻抗范圍。
五、Pinnacle Plus+
Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 電源為單體直流脈沖電源,提供脈沖直流電解決方案所有優點,包括使用簡單、節約成本以及具有{jj1}的靈活性。結合標準直流電技術和經過工藝證明的脈沖直流電技術,Pinnacle Plus+ 電源與復雜而昂貴的交流電解決方案相比,沉積率更高,重復性能更好,薄膜質量更為優異。